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新品现货!!EBARA 荏原 EV-A10 风冷五级罗茨干式真空泵

更新时间:2026-09-24

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近期我司推出荏原 EV-A10 原装全新现货!!大气压段抽气王zhe,洁净无油干泵EV-A10 是荏原 EV-A 系列主力风冷多级罗茨干泵,主打大气压区间超高抽速、稳定耐水汽、长周期连续运行,单相 / 三相 200~240V 双供电可选,无需冷却水,是半导体、锂电、镀膜产线粗抽前级主流机型上海荏原精...。

核心产品特点

  1. 强制风冷,免水冷部署:整机空气冷却,不用铺设冷却水管道,仅接电源即可投产;机身尺寸 317×544×344mm,重量 75kg,标配脚轮 + 调平底座,无尘车间、实验室、改造产线灵活摆放,基建投入低上海荏原精...。

  2. 五级非接触罗茨无油结构:泵腔无真空油,彻di杜绝油蒸汽返流污染腔体;转子无摩擦运转,几乎不产生颗粒,满足 SEMI-S2、CE 洁净安全规范,适配精密洁净制程。

  3. 优秀抽气性能:最大抽速 1000L/min;无气镇极限真空 1.0Pa,开启气镇 2.0Pa;标配可调气镇阀,最大水蒸气处理量 500g/h,可稳定抽取含水汽工艺气体,抑制泵腔凝液腐蚀上海荏原精...。

  4. 宽电压 + 自动化信号接口:支持单相 / 三相 200~240V,50/60Hz 频率下性能不变;自带运行状态、故障报警输出端子,方便接入 PLC 系统,适配设备 OEM 配套、自动化腔体联锁控制荏原製作所。

  5. 低噪低振、运维成本低:运行噪音约 58dB (A),振动小,适合对震动敏感的光学、分析仪器;齿轮润滑脂更换周期可达 20000 小时,日常仅需维护进气滤芯,支持 24h 不间断连续运行,全生命周期 TCO 优异。

  6. 极限真空工况功耗仅 1.1kW,节能表现突出。

适用工况半导体溅射 PVD Load-lock 腔体预抽、分子泵前级粗抽;锂电材料真空干燥、脱气;光学镀膜、等离子清洗;真空烘箱、冷冻干燥;质谱 / 分析仪器、科研真空腔体;高频破空循环抽气场景优势突出。

介质限制:仅适用于空气、氮气等洁净非腐蚀性惰性气体;大量粉尘、强腐蚀气体工况需选配轴承冲洗版本。

原装现货,技术资料齐全,可提供真空系统选型、现场方案对接,欢迎试样询价。


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