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产品型号
EV‑M20N -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-05-28 -
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产品描述
华南一级代理 进口EBARA荏原多级罗茨干泵 EV‑M 系列是荏原的水冷式、高负荷、强腐蚀型多级罗茨干泵，主打大抽速、耐强酸卤素、长期高负荷稳定，是半导体前道量产（刻蚀 / 沉积 / 外延）的主力机型荏原製作所。 泵型：多级罗茨转子（无油、无接触、水冷） 核心价值：SEMI‑S2/CE/NRTL 认证、高温防沉积、高耐腐、长 MTBF
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日本进口EBARA荏原华南一级代理 罗茨型干泵 EV‑S（含 EV‑SA）是荏原的风冷式、轻负荷、高洁净罗茨型干泵 ，主打小型、超低能耗、免维护，面向半导体轻制程与高洁净场景。 泵型：双级罗茨转子（无油、无接触、风冷） 核心价值：SEMI‑S2/CE/NRTL 认证、无需水冷、低振动 / 低噪音、长寿命