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产品型号
EMT-2200MK -
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更新时间
2026-06-01 -
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产品描述
EBARA荏原EMT2200MK五轴磁悬浮涡轮分子泵 EBARA 荏原 EMT 系列（磁悬浮轴承型・涡轮分子泵） 定位：EMT 系列是荏原5 轴磁悬浮轴承涡轮分子泵，全无油、超洁净、超低振动、长寿命，主攻半导体超高真空 (UHV)、EUV 光刻、精密检测、优良封装等制程，区别于 EV/ESA/EST 干式罗茨 / 螺杆泵
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玉崎华南一级代理EBARA荏原螺杆干式真空泵 荏原 EST 系列是螺杆式干式真空泵，定位在重负载、含粉尘 / 腐蚀性气体、高温制程，比 EV‑M（多级罗茨）更早一代、更偏 “重工业级” 干泵，常见于半导体 / 光伏 / 化工高负荷场景