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产品型号
BVT275 -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-07-17 -
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产品描述
BROOKS布鲁克斯 VersaTorr BVT真空计 XacTorr CMX 是恒温加热型电容薄膜真空规，对比常温 CMC 系列，自带控温加热，抑制工艺可凝气体（硅烷、金属有机、卤化物）冷凝污染膜片，长期零点漂移极小，是半导体刻蚀、ALD、CVD、薄膜沉积**真空闭环控制标配
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