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产品型号
CMX3 -
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更新时间
2026-07-17 -
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产品描述
BROOKS布鲁克斯 XacTorr® 加热式电容压力计 XacTorr CMX 是恒温加热型电容薄膜真空规，对比常温 CMC 系列，自带控温加热，抑制工艺可凝气体（硅烷、金属有机、卤化物）冷凝污染膜片，长期零点漂移极小，是半导体刻蚀、ALD、CVD、薄膜沉积**真空闭环控制标配
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CMCA-T11-A-5PIN-0厂商性质
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BROOKS布鲁克斯 CMC 系列电容压力计 CMC 全称 Compact Capacitance Manometer，CMCA 是该系列**基础主干型号（无 CMCB/CMCC 等衍生型号），常温非加热型、体积比传统电容规小 40%，Inconel 蒙乃尔合金膜片，不受气体种类影响，适配薄膜、半导体、冻干中真空测量