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产品型号
GR-312 -
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经销商 -
更新时间
2026-07-21 -
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产品描述
HORIBA 堀场GR-300 系列自动压力调节器 GR-300 是GR-500 前代经典机型，仅单一标准量程 100Torr（13.33kPa 绝压），用于静电卡盘 ESC 晶圆背面 He/Ar 冷却压力闭环控制；存量 8 寸成熟刻蚀、PVD、CVD 设备大量在用，现已逐步被 GR-500 替代。
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