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GR-511F -
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2026-07-21 -
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HORIBA 堀场GR-500 系列自动压力调节器 GR-500 是堀场新一代晶圆背面氦气 / 氩气精密压力闭环控制器，行业俗称背氦压力调节器，专为静电卡盘 ESC 晶圆导热控温开发
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