简要描述：BROOKS布鲁克斯 GF金属密封式流量计
GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点：设计采用与*畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 技术，该产品是高性价比运营的正确选择。另外，金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势，原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气体纯度。

BROOKS布鲁克斯 GF金属密封式流量计
BROOKS布鲁克斯 GF金属密封式流量计

特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%

• 1 秒内稳定

• 全量程流量可达55升/分钟

• 全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面处理

• 耐腐蚀 Hastelloy® 传感器可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体

• 可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度

• 通过有源温度补偿实现的**温度系数规范

• 内嵌式常规自检功能和独立的诊断/维护端口

• 带有 VCR 配件的细线体设计

• DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模拟接口

一、主干基础型号区分

基础型号	设备类型	N₂标准量程	阀体规格
GF080	MFC 带阀控制器 / MFM 无阀流量计	3 sccm ~ 55 slpm	小阀体
GF081	MFC 带阀控制器 / MFM 无阀流量计	55 ~ 300 slpm	大流量阀体

命名说明：行业常简写为 GF80、GF81，完整型号前缀为 GF080、GF081；无 GF120/125 等同系列增强型号。

GF080 系列核心参数

1. 密封：全金属无橡胶密封，哈氏合金传感器 / 阀座，兼容绝大多数腐蚀、高纯特种气体

2. MultiFlo 四代：内置千种气体数据库，免拆切换量程与气体

3. 响应稳定时间：＜1s（GF100 为 300ms，GF080 响应略慢）

4. 量程比：标准 100:1，5%~100% 稳定可控

5. 精度：35~100% FS ±1% SP；5~35% FS ±0.35% FS

6. *大耐压：150 psi（10bar）

7. 零点稳定性：年漂移＜±0.5% FS（GF100 为≤0.15% FS，**工艺优先 GF100）