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| 品牌 | USHIO/牛尾 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 照射方式 | 内照式 | 光源种类 | 红外光源 |
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
USHIO牛尾UVL 系列 超高压短弧汞灯
USHIO牛尾UVL 系列 超高压短弧汞灯
光谱固定i 线 365nm、h 线 405nm、g 线 436nm三主峰,光刻胶标准感光波段
短弧近点光源,极易搭配平行光光学系统,均匀度高
功率覆盖 2kW~24kW,适配 ML-251/ML-501 系列平行曝光机
分M2/M3/M4光谱版本、N 无臭氧款、H 高输出款
M2:通用平衡型,i/g/h 三线均衡,PCB / 面板量产主流
M3:i 线 365nm 强化,半导体晶圆光刻专用
M4:超高 i 线输出,高精度薄胶、gao端芯片制程
N1 / N:无臭氧款(低紫外短波,无需强排风);无 N = 标准臭氧型
H4:高功率长效款,寿命 2000h
数字:功率,2000=2kW、12KM=12kW、24KM=24kW
中小功率实验室曝光(对标 250W 汞灯 ML-251)
UVL-2000M2、UVL-3000M2、UVL-4500M2
标准 5kW 量产曝光(ML-501 主力)
UVL-5000M3、UVL-6000M3、UVL-7500M2、UVL-7000M4
大功率高产能晶圆 / 载板产线
UVL-9000M2、UVL-12KM2、UVL-18KM3、UVL-24KM3
无臭氧低发热型号:UVL-7000H4N、UVL-4001-N