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USHIO牛尾高精度光刻专用 超高压短弧汞灯

简要描述:USHIO牛尾高精度光刻专用 超高压短弧汞灯
牛尾 UV 灯管按发光原理、应用场景分为超高压汞灯(光刻曝光主力)、金属卤化物 UV 固化灯、短弧汞氙 / 氙灯(实验室点光源)、低压 UV-C 杀菌 / 清洗灯、准分子 VUV 真空紫外灯五大类,覆盖半导体光刻、PCB、LCD 固化、表面改质、杀菌清洗全产业链。

基础信息

产品型号

UVL-12KM2

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-20

浏览次数

10
详细介绍
品牌USHIO/牛尾价格区间面议
照射方式内照式光源种类红外光源
应用领域化工,电子/电池,电气,半导体,机械设备

USHIO牛尾高精度光刻专用 超高压短弧汞灯
USHIO牛尾高精度光刻专用 超高压短弧汞灯

核心特点

光谱固定i 线 365nm、h 线 405nm、g 线 436nm三主峰,光刻胶标准感光波段

短弧近点光源,极易搭配平行光光学系统,均匀度高

功率覆盖 2kW~24kW,适配 ML-251/ML-501 系列平行曝光机

M2/M3/M4光谱版本、N 无臭氧款、H 高输出款

M2 / M3 / M4:光谱版本

  • M2:通用平衡型,i/g/h 三线均衡,PCB / 面板量产主流

    M3:i 线 365nm 强化,半导体晶圆光刻专用

  • M4:超高 i 线输出,高精度薄胶、gao端芯片制程

  • N1 / N:无臭氧款(低紫外短波,无需强排风);无 N = 标准臭氧型

  • H4:高功率长效款,寿命 2000h

  • 数字:功率,2000=2kW、12KM=12kW、24KM=24kW

主流型号清单

  1. 中小功率实验室曝光(对标 250W 汞灯 ML-251)

    UVL-2000M2、UVL-3000M2、UVL-4500M2

  2. 标准 5kW 量产曝光(ML-501 主力)

    UVL-5000M3、UVL-6000M3、UVL-7500M2、UVL-7000M4、UVL-9600M3、UVL-18KM3、UVL-20K1M3、UVL-24KM3

  3. 大功率高产能晶圆 / 载板产线

  4. UVL-9000M2、UVL-12KM2、UVL-18KM3、UVL-24KM3

  5. 无臭氧低发热型号:UVL-7000H4N、UVL-4001-N

典型应用

半导体晶圆光刻、MEMS、PCB 干膜 / 绿油平行曝光、面板彩膜光刻

寿命

标准型 1000h,长效款 2000h;必须配套原厂风冷 / 水冷灯箱 + 镇流器















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