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进口USHIO牛尾 UXM 系列汞氙短弧灯

简要描述:进口USHIO牛尾 UXM 系列汞氙短弧灯
USHIO 牛尾 UXM 系列|汞氙短弧灯(量产光刻主力,对比 USH 纯汞灯) 核心定义:Hg-Xe 汞氙混合光源 = 深紫外 230~320nm + 365nm (i-line) 强峰 + 可见光连续光谱,量产大面积曝光;USH 是纯汞、小功率实验室 / 返修,UXM 量产线标配

基础信息

产品型号

UXM-501MA

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-20

浏览次数

21
详细介绍
品牌USHIO/牛尾价格区间面议
照射方式内照式光源种类红外光源
应用领域化工,电子/电池,电气,半导体,机械设备

进口USHIO牛尾 UXM 系列汞氙短弧灯
进口USHIO牛尾 UXM 系列汞氙短弧灯

一、主流型号参数汇总

型号功率电压 / 电流电弧长度标称寿命光谱特点
UXM-200H AX200W22.5V/9A1.9mm1000h254+365nm 双波段,通用深紫外
UXM-Q256BY250W24V/10A2.1mm3000h365nm 专攻,超长寿命点光源
UXM-501MA500W25V/20A3.0mm1000h365nm i-line 主峰(半导体量产主流)
UXM-501MD500W25V/20A3.0mm1000h230~320 深紫外 + 365nm,短波更强
UXM-2004MD2000W59V/34A3.5mm800h全波段高强深紫外,大板整面曝光
UXM-5000MD5000W大功率4.2mm700h12 寸晶圆整版步进机专用

二、分型号半导体应用场景

1、UXM-200H AX(200W)

  • 实验室研发、小片晶圆打样、分立器件小批量光刻

  • COB / 摄像头模组 UV 胶固化、晶圆离线缺陷检测、小型 FPC 试样曝光

2、UXM-Q256BY(250W 长寿命)

  • 芯片返修点光源、BGA 底部填充单点 UV 固化、探针台荧光检测

  • 光学镜头粘接固化,设备连续 24h 运转优选(3000h 长寿)

3、UXM-501MA(500W,市面用量*大)

i-line 365nm 量产标配
  • 6/8 寸功率器件 MOS/IGBT、晶圆步进光刻机原厂光源(UX-4000、MA 系列曝光机)

  • IC 载板、HDI 板整版干膜曝光、引线框量产 UV 固化,线宽 1~5μm 制程

4、UXM-501MD(500W 深紫外款)

深紫外光刻专用(230~320nm)
  • MEMS、SAW 滤波器、压电晶圆高深宽比光刻、厚光刻胶制程

  • 优良 FC 倒装载板、超薄基板精密线路曝光,适配高灵敏深紫外光刻胶

5、UXM-2004MD/5000MD(2000W/5000W 大功率)

  • 12 寸晶圆量产步进机、大面积 PCB 整板全自动曝光线

  • 显示面板 Mini-LED 基板、大尺寸载板量产产线光源

三、UXM 与 USH 核心区分

  1. USH(纯汞灯):无氙气、仅汞线谱、小功率 100~500W,研发 / 返修 / 小试样

  2. UXM(汞氙灯):汞 + 氙混合气、深紫外 + 365 双光谱、200W~5000W,工厂量产曝光

四、配套电源

  • 200W:专用 UXM-200H 恒流电源

  • 500W:USHIO HL-30201BF/HL-70201BF 点灯电源




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