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| 品牌 | Yamada/山田光学 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 照射方式 | 内照式 | 光源种类 | 其他光源 |
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
YAMADA 山田光学 高亮度卤素 LED 光源装置
YAMADA 山田光学 高亮度卤素 LED 光源装置
高亮度卤素灯和LED光源是宏观观察照明设备，用于在加工阶段（整个工艺流程中最耗费人力的环节）检测半导体晶圆和液晶基板最终成品表面上的各种缺陷，例如异物、划痕、抛光不均匀、雾化和滑移等。其照度是日光的四倍以上，因此能够检测到通常会被忽略的微小缺陷。
冷镜二向色分光光路
内置特殊冷反射镜，反射可见光、透射红外热辐射，样品受热仅传统铝镜方案 1/3；搭配强制风扇 / 管道散热，晶圆、薄玻璃、OLED 等热敏样品长时间检测无热形变。
超高均匀锐边光斑
光斑边界锐利、内部照度均匀，无明暗杂斑，消除边缘误判；支持高低照度一键两级切换，快速切换粗筛 / 精检模式。
极低亮度漂移
卤素款电压式调光、LED 款恒流精密调光，输出波动≤1%，批量检测标准统一。
模块化易维护
灯泡 / LED 模组快拆更换，配套立式支架，可离线人工台、自动化设备集成。
| 型号 | 光源类型 | 功率 | 散热版本 | 光斑直径 | 核心定位 |
|---|---|---|---|---|---|
| YP-150I | 卤素 | 150W | 内置风扇标准款 | φ30mm | 小尺寸晶圆实验室复检 |
| YP-150ID | 卤素 | 150W | 管道排风定制款 | φ30mm | 长时间连续检测工位 |
| YP-250I-F | 卤素 | 250W | 内置螺旋风扇 | φ60mm | 中大基板通用标配 |
| YP-250I-D | 卤素 | 250W | 外接管道排风 | φ60mm | 无尘产线密闭环境 |
| YP-250IL | LED 白光 | LED 模组 | *风冷 | φ40mm | 长寿命量产粗检 |
YP：超高照度定向光源系列代号
数字 150/250：对应卤素灯泡功率 150W/250W
I：Halogen 卤素光源标识
IL：LED 光源专用后缀
D：Duct 管道排风散热定制版本后缀
F：Fan 内置风扇标准版后缀
半导体：硅片抛光后宏观检查、外延片、化合物晶圆、光刻掩膜缺陷目视检测
显示行业：LCD/OLED 玻璃基板、光学薄膜、偏光片表面瑕疵检查
光学元件：光学玻璃、镜头毛坯、镀膜件划痕 / 脏污检测
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