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| 品牌 | CKD/日本喜开理 | 流动方向 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 3C阀门类别 | 工业 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
日本进口CKD喜开理微型比例电磁阀
日本进口CKD喜开理微型比例电磁阀
一、制程高纯气体阀（Dry 制程：CVD/PVD/ALD/ 离子注入，特种腐蚀性气体 SiH₄、NF₃、WF₆）
VMB 阀箱、VMP 阀盘、Gas Cabinet 特气柜：气瓶后端**切断、MFC 上下游隔离；
刻蚀、CVD、ALD 机台机侧管路气源通断；
大宗高纯氮气 / 氩气主管支路切断。
| 型号 | 接口口径 | 定位 |
|---|---|---|
| GTR200 | 1/8、1/4 | 微型小流量、机台单点调压 |
| GTR300 | 1/4、3/8 | 半导体*常用标准款 |
| GTR400 | 3/8、1/2 | 中大流量分支主管调压 |
| GTR500 | 3/4 | 车间支线大流量供气 |
| GTR600 | 1 寸 | 厂区大宗 N₂总管稳压 |
| 型号 | 驱动方式 | 适用工况 | 半导体选型 |
|---|---|---|---|
| NAP | 外接气源气控、无线圈 | 防爆、无尘洁净区、特气柜内部 | NAP-P4（无铜） |
| NVP | 内置电磁线圈 + 外部先导 | 设备机台、PLC 自动控制 | NVP-P4（晶圆机械手） |
S：标准型：调压 0～0.8MPa（常规氮气、CDA）
L：低压专用型：上限 0.4MPa，微压精准稳压（吹扫、气动驱动用气）
N：不带压力表、J：不配安装支架，标配卡扣嵌入式圆表（表盘内嵌、节省安装空间）
平衡式膜片调压结构
内部平衡阀芯，调压迟滞＜±2% FS，气源压力波动时二次输出漂移极小；旋钮按压自锁结构，调好压力按下锁死，震动、环境变化不会跑压，半导体洁净厂房**。
耐压与调压区间
一次进气：*高 1.0MPa；
标准 S：二次调压 0.02～0.8MPa；低压 L：0.01～0.4MPa；
使用温度：-5℃～60℃，洁净室常温工况适配；
材质（半导体洁净规格）
阀体压铸铝合金 + 内壁低析出处理，P6 禁铜可选规格（无铜析出，适配高纯 N₂/Ar），无橡胶碎屑脱落，满足 Class1000 洁净室要求；
安装方式
面板嵌入安装 + 外挂支架两种，气盘集成模块化排布紧凑。
全厂氮气 N₂、氩气 Ar、干燥压缩空气 CDA分支管路二级稳压；空压机后端分配管路调压，稳定机台前端供气压力。
AGD 金属隔膜阀驱动气源、
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