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| 品牌 | KITZ/日本 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
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日本进口KITZ开滋VLD系列气动隔膜阀
日本进口KITZ开滋VLD系列气动隔膜阀
VLD：KD 系列简化经济型版本，低压高纯金属隔膜阀，继承 KD 洁净工艺，零件简化、成本低于 KD；气动仅 NC 常闭，无 NO 常开；隔膜不可现场维修更换（一次性膜片组件），区别 KD‑E 可维修执行器。
*大工作压力：0.98MPa(G)；流体‑10~80℃，环境‑10~60℃；阀体 SUS316L EP 抛光 Ra≤0.25μm；Elgiloy 合金隔膜，PCTFE 阀座；He 泄漏≤1×10⁻⁹atm・cc/s；气动驱动气源 0.45‑0.6MPa (G) 高纯 N₂/ 干燥空气。
| 型号 | 驱动 | 口径 | Cv 值 | *高压力 | 流体温度 | 接口 | 核心特点 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VLD2CS‑VC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/8" | 0.05 | 0.98MPa | -10~80℃ | M‑CVC 卡套 | 微小流量，死体积小 | 仪器支路、微量吹扫 |
| VLD4CS‑VC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/4" | 0.27 | 0.98MPa | -10~80℃ | M‑CVC 公卡套 | *主流型号，体积紧凑 | VMB 阀箱、机台辅助气路、N₂/Ar 切断 |
| VLD4CS‑VFC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/4" | 0.27 | 0.98MPa | -10~80℃ | F‑CVC 母卡套 | 母头接口，模组集成 | 阀块面板安装 |
| VLD4CS‑WC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/4" | 0.27 | 0.98MPa | -10~80℃ | 轨道对焊 | 焊接管路 | 焊道式高纯管线 |
| VLD8CS‑VC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/2" | 0.70 | 0.98MPa | -10~80℃ | M‑CVC 公卡套 | 大通流 | 大流量吹扫、工厂辅气总管 |
| VLD8CS‑VFC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/2" | 0.70 | 0.98MPa | -10~80℃ | F‑CVC 母卡套 | 母接口 | 阀组集成应用 |
手动型号补充（参考）：VLD4MS‑VC‑EP‑316L、VLD8MS‑VC‑EP‑316L；270° 蓝色手轮，可加锁，同样不可维修隔膜。
VLD：系列代号；2/4/8：口径 1/8"、1/4"、1/2"
CS：气动常闭 NC；MS：手动；无 OS 常开型号
VC=M‑CVC 公卡套；VFC=F‑CVC 母卡套；WC = 轨道对焊
EP：电解抛光；316L 阀体材质
| 项目 | VLD（自动） | KD‑E（KD4CS） | XD |
|---|---|---|---|
| 隔膜组件 | 不可维修，一次性 | 可现场更换隔膜组件 | 不可维修一次性 |
| 执行器 | 简化气动头 | KD‑E 可维修执行器 | 只有手动，无气动 |
| *高压力 | 0.98MPa | 0.98MPa | 0.98MPa |
| 温度上限 | 流体 80℃，环境 60℃ | 流体 80℃，环境 60℃ | 流体 80℃，环境 60℃ |
| He 检漏等级 | 1e‑9 | 1e‑9 | 1e‑9 |
| 洁净清洗 | 半导体级 EP 清洗 | 半导体级 EP 清洗 | 半导体级 EP 清洗 |
| 成本 | 中等（低于 KD，高于 XD） | *高 | *低 |
| 适用定位 | 次关键气动回路、VMB 辅助阀、机台辅助气体 | 主工艺特气、频繁开关关键切断 | 非关键辅助吹扫、只适合手动工况 |
半导体 VMB 阀箱次级辅助气动切断阀（非高危特气主路）：氮气、氩气、洁净压缩空气吹扫。
光伏、面板厂供气系统自动开关。
设备机台辅助气路、腔体吹扫、泄压回路。
实验室高纯气体自动控制。
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