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日本进口KITZ开滋KCD紧凑型自动隔膜阀

简要描述:日本进口KITZ开滋KCD紧凑型自动隔膜阀
该阀门是基于 KD 系列的紧凑型版本,是一款高品质隔膜阀,适用于半导体中使用的高纯度气体。

基础信息

产品型号

KCD4CS‑VFC‑EP‑316L

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-30

浏览次数

6
详细介绍
品牌KITZ/日本应用领域能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备

日本进口KITZ开滋KCD紧凑型自动隔膜阀
日本进口KITZ开滋KCD紧凑型自动隔膜阀

KCD:KD 系列小型化版本,仅 1/4" 口径,体积比 KD4 缩小约 20%、死容积更小;继承 KD 的高纯品质;气动只有 NC 常闭,无 NO 常开;隔膜不可现场维修,整阀更换;半导体狭小空间阀箱、设备内置阀**。

基础总参数

项目规格
驱动气动自动 NC 常闭(标准);另有手动 KCD4MS
口径仅 1/4"(无 1/8、1/2 规格)
*大工作压力0.98MPa(G)
流体温度-10~80℃(PCTFE 阀座);可选 PFA 阀座*高 150℃
环境温度-10~60℃
阀体材质SUS316L EP 电解抛光 Ra≤0.25μm
隔膜Elgiloy 钴基合金隔膜
阀座PCTFE(标准)/ 可选 PFA
Cv 值0.10(对比 KD4CS Cv=0.27,KCD 流通更小)
内部死容积0.97cm³,小于 KD4 的 1.2cm³,置换更快
He 泄漏率≤1×10⁻⁹ atm·cc/s
耐久寿命气动 200 万次循环(N₂工况实测)
驱动气源0.45‑0.6MPa (G) 高纯 N₂/ 干燥空气
可选配件阀位反馈接近开关

KCD 自动气动完整型号列表

型号驱动口径Cv压力接口特点应用场景
KCD4CS‑VC‑EP‑316L气动‑NC 常闭1/4"0.100.98MPaM‑CVC 公卡套*主流型号,公头 CVCVMB 阀箱高密度排布、设备内部狭小空间
KCD4CS‑VFC‑EP‑316L气动‑NC 常闭1/4"0.100.98MPaF‑CVC 母卡套母头 CVC,阀块面板安装集成阀块、多阀密集模组
KCD4CS‑VF‑EP‑316L气动‑NC 常闭1/4"0.100.98MPaVCR‑F 母接头VCR 母接口VCR 管路系统
KCD4CS‑VM‑EP‑316L气动‑NC 常闭1/4"0.100.98MPaVCR‑M 公接头VCR 公接口VCR 管路系统
手动参考型号:KCD4MS‑VC‑EP‑316L;270° 蓝色手轮,同样 1/4",Cv0.10。

型号代号拆解

  • KCD = 紧凑型隔膜阀;4 =1/4";CS = 气动 NC 常闭;MS = 手动

  • VC=M‑CVC 公;VFC=F‑CVC 母;VF=VCR 母;VM=VCR 公

  • EP = 电解抛光;316L 阀体

应用场景

  1. VMB 分配盘高密度阀组:空间紧张,需要排布大量切断阀,死体积要小,气体置换快。

  2. 半导体设备机台内置阀、腔体吹扫、微量工艺气支路。

  3. 分析仪器、气体控制柜狭小安装空间。

  4. 高纯氮气、氩气、惰性特气切断;不适合大流量管路(Cv 偏小)













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