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| 品牌 | KITZ/日本 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本进口KITZ开滋TDF高速高耐久性隔膜阀
日本进口KITZ开滋TDF高速高耐久性隔膜阀
TDF 专为ALD/ALE 原子层工艺开发，高速响应、亿次级循环寿命；降低热传导结构，接液介质*高 220℃；加装传感器 / 电磁阀上限 200℃；接口为专用 C‑Seal；仅气动 NC 常闭，无手动、无 NO 常开
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 驱动形式 | 气动 仅 NC 常闭 |
| 口径 | TDF4：1/4"；TDF8：1/2" |
| *大工作压力 | 0.7MPa(G) |
| 流体温度 | *高 220℃；带传感器 / 电磁阀*高 200℃；*低≥80℃，禁止低温冷凝 |
| 环境温度 | *高 130℃ |
| 阀体材质 | SUS316L / SUS316LE 双熔；EP 电解抛光 Ra≤0.13μm |
| 隔膜 | Elgiloy 钴基合金隔膜 |
| 阀座 | PFA 耐高温阀座 |
| Cv（高温实测） | TDF4=0.19；TDF8=0.50（220℃） |
| 响应总时间 | 14‑18ms；耐久后响应波动±2ms |
| 耐久寿命 | 220℃工况≥4000 万次；实验室测试*高 1 亿次 N₂循环 |
| He 泄漏率 | ≤1×10⁻⁹ atm·cc/s |
| 驱动气源 | 0.45‑0.6MPa (G) 高纯 N₂/ 干燥空气 |
| 可选配件 | 阀位反馈接近开关、集成电磁阀 |
| 接口 | 专用 C‑Seal 密封接口，不可直接对接普通 CVC/VCR |
| 型号 | 驱动 | 口径 | Cv@220℃ | 压力 | 接口 | 核心特点 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TDF4CS‑GA‑S‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/4" | 0.19 | 0.7MPa | 1.125"C‑Seal | 主流小流量 ALD 阀，高速高频脉冲 | ALD 前驱体支路、小流量源供给 |
| TDF8CS‑GA‑S‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/2" | 0.50 | 0.7MPa | 1.5"C‑Seal | 大通流，高耐久 |
型号拆解
TDF = 高速高耐久系列；4/8 口径；CS=NC 常闭；GA=C‑Seal 接口；S = 高速耐久规格；EP = 电解抛光；316L 阀体
ALD 原子层沉积设备：TMA、Hf、Zr 等高沸点前驱体，高频脉冲开关工艺，对时间精度、Cv 稳定性、寿命严苛要求。
ALE 原子层刻蚀，需要毫秒级精准气路切换。
低蒸气压固 / 液态前驱体供气系统，全程高温伴热，防止源冷凝结晶。
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