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| 品牌 | KITZ/日本 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本进口KITZ开滋ZCD零容积自动隔膜阀
日本进口KITZ开滋ZCD零容积自动隔膜阀
ZCD = Zero‑Dead‑Volume，阀座到主流路死体积相比 KD4 减少约 86%；带隔膜强制提升机构，防止真空吸附隔膜贴死，吹扫置换速度极快；隔膜 + 阀座组件现场可更换维修；气动仅 NC 常闭，无 NO 常开；分标准常温 ZCD、高温 ZCD‑K（250℃前驱体版）两大分支
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 驱动 | 气动自动 NC 常闭；手动 ZCD4Q |
| 口径 | 仅 1/4"；ZCD‑K 扩展到 1/2" |
| *大工作压力 | 0.98MPa(G) |
| 流体温度 | PCTFE 阀座：‑10~80℃；PI 阀座‑10~150℃；ZCD‑K (PI) *高 250℃ |
| 环境温度 | ‑10~60℃（ZCD‑K 环境*高 100℃） |
| 阀体 | SUS316L VIM‑VAR，EP 抛光 Ra≤0.25μm |
| 隔膜 | Elgiloy 钴基合金；强制提升结构，抑制真空闭锁 |
| 阀座 | PCTFE (标准)/PI (高温)/PFA |
| Cv | 0.10（同 KCD） |
| 死容积 | 0.007cm³，KD4 为 0.12cm³，大幅缩小 |
| He 泄漏率 | 内漏≤1×10⁻⁹ atm・cc/s；外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s |
| 寿命 | 气动 200 万次；ZCD‑K 高温版 150 万次 |
| 驱动气源 | 0.45‑0.6MPa (G) 高纯 N₂/ 干空气 |
| 可选件 | 阀位反馈接近开关 |
| 维修特性 | 阀座‑隔膜组件可现场更换，不用整阀替换（ZCD du有优势） |
| 型号 | 驱动 | 口径 | Cv | 接口 | 特点 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ZCD4CS‑VC‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/4" | 0.10 | M‑CVC 公卡套 | 主力自动型号，零死体积，可维修隔膜阀座 | VMB 钢瓶阀、源瓶阀、分析取样、快速吹扫回路 |
| ZCD4CS‑VFC‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/4" | 0.10 | F‑CVC 母卡套 | 母 CVC，阀块面板集成 | 多阀模组，快速切换取样气路 |
| ZCD4CS‑VF‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/4" | 0.10 | VCR 母 | VCR 管路系统 | 高纯 VCR 阀组 |
| ZCD4Q‑VC‑EP‑316L | 手动 | 1/4" | 0.10 | M‑CVC 公卡套 | 手动带强制提升，防真空闭锁 | 源瓶手动切断、面板手动阀 |
| 型号 | 驱动 | 口径 | Cv | 接口 | 特点 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ZCD4KCS‑GA‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/4" | 0.10 | C‑Seal | 接液 250℃，环境≤100℃；可维修 | ALD 固体前驱体源瓶阀，低蒸气压源供给 |
| ZCD8KCS‑GA‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/2" | 0.30 | C‑Seal | 1/2" 高温零死体积 | 大流量高温源瓶、蒸发源切断阀 |
型号释义
ZCD：零容积；4/8 口径；CS 气动 NC；Q 手动；K = 高温 250℃规格
VC=M‑CVC 公；VFC=F‑CVC 母；VF=VCR 母；GA=C‑Seal 高温接口
EP 电解抛光；316L 阀体
源瓶 / 钢瓶出口阀：特气、前驱体瓶阀；快速置换吹扫，降低残留气体污染，ZCD 强制提升机构解决真空工况隔膜吸贴打不开的痛点。
分析取样气路、残余气体分析 RGA、质谱仪器，需要快速切换、快速置换。
VMB 分配柜取样支路，频繁切换不同工艺气体，杜绝交叉污染。
ZCD‑K 高温版：ALD 固体 / 低蒸气压前驱体源瓶阀，接液 250℃，注意执行器环境温度不超过 100℃，不能像 TD‑S/TDF 整阀泡在 200℃腔体内。
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