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| 品牌 | KITZ/日本 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本进口KITZ开滋集成系统用TD自动隔膜阀
日本进口KITZ开滋集成系统用TD自动隔膜阀
TD（不带‑S）：常温集成阀块专用隔膜阀，适配 1.125" C‑Seal 集成基板 / 集成阀块系统；区别 TD‑S（200℃浸没高温阀）；阀直接螺钉锁在 C‑Seal 阀块基板，无螺纹接头，大幅降低集成死体积；支持直通、三通分流；气动 NC/NO 都有；隔膜不可现场维修，整阀更换
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 驱动 | 气动 NC 常闭 / NO 常开；另有手动 TD‑QS |
| 接口 | 1.125" C‑Seal 基板接口（阀块锁装） |
| *大工作压力 | 0.98MPa(G) |
| 流体温度 | -10~80℃；环境‑10~60℃ |
| 阀体材质 | SUS316L / 316LE (VIM‑VAR)；EP/SEP 抛光，Ra≤0.25μm |
| 隔膜 | Elgiloy 钴基合金隔膜 |
| 阀座 | PCTFE 标准，可选 PFA |
| Cv 值 | 直通 0.3；三通分流 0.25 |
| He 泄漏率 | ≤1×10⁻⁹ atm·cc/s |
| 耐久寿命 | 200 万次循环 N₂工况 |
| 驱动气源 | 0.45‑0.6MPa (G) 高纯 N₂/ 干空气 |
| 可选配件 | 阀位反馈接近开关 |
| 维修特性 | 隔膜不可拆解维修，寿命到期整阀更换 |
| 型号 | 驱动 | Cv | 接口形式 | 特点 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| TD4CS‑GC‑985‑FA‑SEP‑316LE | 气动‑NC 常闭 | 0.3 | 1.125"C‑Seal 基板 | 主力 NC，SEP 超高纯抛光 | 集成阀块主流切断阀，惰性 / 普通特气 |
| TD4OS‑GC‑124‑FA‑SEP‑316LE | 气动‑NO 常开 | 0.3 | 1.125"C‑Seal 基板 | 失气打开，**回路 | 吹扫**回路，需要失气保持通路 |
| 型号 | 驱动 | Cv | 接口形式 | 特点 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| TD4CB‑GC‑1003‑FA‑SEP‑316LE | 气动‑NC 常闭 | 0.25 | 1.125"C‑Seal 基板 | 三通分流集成阀块 | 气体切换、取样回路、多路分配基板 |
手动参考型号：TD4QS‑GC‑183‑FA‑SEP‑316LE（90°LOTO 锁止手动阀）
TD = 集成系统 C‑Seal 基板阀；4 = 对应 1/4″流量等级
CS=NC 常闭；OS=NO 常开；CB = 三通分流；QS = 手动
GC = 标准 C‑Seal 基板接口；GA = 高温 TD‑S 专用 C‑Seal
FA = 基板安装形式；SEP=316LE 双熔炼超高纯；EP = 普通电解抛光
半导体 C‑Seal 集成阀块（Mono‑Block 集成供气系统），螺钉直接锁在基板，消除卡套接头死容积，VMB 集成模组。
面板、光伏、半导体设备机台内置集成气路；氮气、氩气、普通惰性特气切断、切换、取样。
三通 TD4CB 用于多路气体切换，RGA 残余气体分析取样基板。
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