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| 品牌 | KITZ/日本 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本进口KITZ开滋 XD系列自动隔膜
日本进口KITZ开滋 XD系列自动隔膜XD 系列是 KITZ‑SCT紧凑型经济型高纯气动隔膜阀，对标gao端 KD 系列；C 代表气动常闭 NC（自动款），M 代表手动款，型号示例：XD4CS‑VC‑EP‑316L。
专为半导体次要气路、载气、吹扫气、设备端分支气路；兼顾高纯性能 + 小型轻量化、成本优势。
XD 定位为「经济型手动隔膜阀」，简化结构、降低成本，专为非关键手动支路设计。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 阀体材质 | SUS316L，可选 SEP‑316LE 双熔炼材质 |
| 表面处理 | STD 机械抛光 / EP 电解抛光 Ra≤0.4μm（主流选型） |
| 隔膜 | 钴基合金隔膜（哈氏合金系），抗疲劳、低析 |
| 阀座 | PCTFE (标准) / PFA / PI可选 |
| 口径 | XD4‑1/4"；XD8‑1/2"；XD12‑3/4" |
| Cv 值 | XD4=0.27；XD8=0.7；XD12=1.7 |
| 最高工作压力 | 0.98 MPa(G) |
| 流体温度 | -10～80℃（PCTFE 阀座） |
| 驱动气源 | 0.4‑0.6 MPa，弹簧复位常闭 NC；可加装位置接近开关 |
| 泄漏率 | ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s He 检漏 |
| 连接方式 | CVC 公头 V、CVC 母头 VF、卡套 S；无 VCR 接口 |
| 内部死容积 | XD4 仅 1.36 cm³，吹扫置换快 |
| 型号 | 驱动 | 口径 | Cv | 压力 | 接口 | 特点 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| XD4MS‑VC‑EP‑316L | 手动 | 1/4" | 0.27 | 0.98MPa | M‑CVC 公卡套 | 经济型手动，不可维修膜片 |
| XD4MS‑WC‑EP‑316L | 手动 | 1/4" | 0.27 | 0.98MPa | 轨道对焊 | 焊接管路经济型 |
| XD8MS‑VC‑EP‑316L | 手动 | 1/2" | 0.70 | 0.98MPa | M‑CVC 公卡套 | 大流量经济型手动 |
隔膜：Elgiloy 合金，一次性不可现场维修
阀体：SUS316L EP 抛光 Ra≤0.25μm
阀座：PCTFE
He 泄漏：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s
| 项目 | XD 系列 | VLD 系列 |
|---|---|---|
| 驱动方式 | 仅手动 | 气动自动（NC） |
| 定位 | 经济型手动支路 | 经济型自动支路 |
| 隔膜维修 | 不可维修 | 不可维修 |
| *高压力 | 0.98MPa | 0.98MPa |
| 洁净等级 | EP 半导体级 | EP 半导体级 |
| 适用场景 | 非关键手动吹扫、辅助支路 | VMB 辅助气动切断、机台辅助气路 |
半导体设备：吹扫气、载气、N2 隔离阀、废气旁路、设备子阀组
FPD 面板、光伏、锂电池高纯气体管路
实验室气体柜、气体分配面板（GDP）次要支路
不适合：高温工艺、ALD 高频脉冲、强腐蚀特种气体主路（改用 KD）
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