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| 品牌 | KITZ/日本 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本KITZ开滋 IB系列自动小直径波纹管阀
日本KITZ开滋 IB系列自动小直径波纹管阀
IB 为金属波纹管密封高纯阀，区别隔膜阀；波纹管wan全隔绝介质与执行器，零外漏；既可供气，也适配真空排气管路；气动标准 NC 常闭；无 NO 常开；分标准切断型 IB‑CS、流量可调型 IB‑VCS；口径 1/4"、3/8"、1/2"；*大工作压力 0.98MPa (G)。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 驱动 | 气动 NC 常闭；手动 IB‑QS；流量可调 IB‑VCS 气动 |
| 口径 | 1/4"、3/8"、1/2" |
| *大工作压力 | 0.98MPa(G) |
| 流体温度 | -10~100℃ |
| 环境温度 | -10~60℃ |
| 阀体材质 | SUS316L，EP 抛光 Ra≤0.25μm / STD 机械抛光 |
| 密封结构 | 全金属波纹管密封，介质wan全隔离执行机构，零外漏 |
| 阀座 | PCTFE 标准；可选 PFA |
| Cv 值 | 1/4"=0.3；3/8"=0.85；1/2"=0.85；IB‑VCS 可调 Cv：0.05~0.74 (1/2") |
| He 泄漏率 | 外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s；内漏≤1×10⁻⁹ atm・cc/s |
| 驱动气源 | 0.45‑0.6MPa (G) 高纯 N₂/ 干燥空气 |
| 可选配件 | 阀位反馈接近开关 |
| 维修特性 | 波纹管组件不可现场维修，寿命到期整阀更换 |
| 型号 | 驱动 | 口径 | Cv | 接口 | 特点 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| IB4CS‑VCC‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/4" | 0.3 | M‑CVC 公卡套 | 主力标准切断阀，EP 抛光 | VMB、机台供气、真空排气支路 |
| IB4CS‑VFCC‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/4" | 0.3 | F‑CVC 母卡套 | 母 CVC，阀块面板安装 | 阀组模组集成 |
| IB4CS‑WCC‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/4" | 0.3 | 轨道对焊 | 焊接管路，无卡套泄漏点 | 特气柜焊接管线 |
| IB6CS‑VCC‑EP‑316L | 气动‑NC | 3/8" | 0.85 | M‑CVC 公卡套 | 大通流 | 大流量供气、排气主管支路 |
| IB8CS‑VCC‑EP‑316L | 气动‑NC | 1/2" | 0.85 | M‑CVC 公卡套 | 1/2" 大通流 | Fab 工厂辅气总管、排气系统 |
| 型号 | 驱动 | 口径 | 可调 Cv 范围 | 接口 | 特点 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| IB4VCS‑VCC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/4" | 0.03‑0.3 | M‑CVC | 气动 + 内部行程可调，设定*大流量 | 需要限制*大流量的自动回路 |
| IB8VCS‑VCC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/2" | 0.05‑0.74 | M‑CVC | 大口径可调波纹管阀 | 排气限流、工艺气限流供给 |
手动参考型号：IB4QS‑VCC‑EP‑316L（90° 旋转手动波纹管阀）
IB：小口径波纹管阀；4/6/8=1/4"/3/8"/1/2"
CS = 气动常闭切断；VCS = 气动流量可调；QS=90° 手动
VCC=M‑CVC 公；VFCC=F‑CVC 母；WCC = 轨道对焊
EP = 电解抛光；STD = 机械抛光；316L 阀体
半导体真空排气管路：刻蚀、沉积腔体排气切断，波纹管隔绝工艺废气，杜绝介质侵入执行器，减少颗粒污染。
VMB、特气柜供气支路，有毒、腐蚀性工艺气体，对外漏要求ji高工况。
同时兼顾供气 + 排气切换回路；IB‑VCS 用于需要气动限流、限制*大流量的工艺回路。
面板、光伏设备高纯气体供给与真空管路。
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