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| 品牌 | KITZ/日本 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本进口KITZ开滋 B-V 可变流量阀
日本进口KITZ开滋 B-V 可变流量阀
IB‑V 系列，型号全称IB‑VCS；气动切断 + 手动预调流量二合一，相当于一台阀集成「气动切断阀 + 针阀」；上部旋钮预先设定*大 Cv 开度，气动只负责开关，运行中流量固定；金属波纹管零外漏，适合真空排气、限流工艺回路
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 驱动 | 气动仅 NC 常闭；顶部手动旋钮预调流量（运行不可在线动态调节） |
| 口径 | 1/4"、3/8"、1/2" |
| *大工作压力 | 0.98MPa(G) |
| 流体温度 | 标准‑10~100℃；PFA 阀座选项‑10~150℃ |
| 环境温度 | ‑10~60℃ |
| 阀体材质 | SUS316L；EP 抛光 Ra≤0.25μm / STD 机械抛光 |
| 密封结构 | SUS316L 金属波纹管wan全隔离介质，极低外漏，适配真空工况 |
| 阀座 | PCTFE（标准）；可选 PFA（耐温提升） |
| Cv 调节范围 | 1/4"：0.03‑0.28；3/8"：0.05‑0.60；1/2"：0.05‑0.74 |
| He 泄漏率 | 内漏≤1×10⁻⁹ atm・cc/s；外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s |
| 驱动气源 | 0.45‑0.6MPa (G) 高纯 N₂/ 干空气 |
| 耐久寿命 | 100 万次 N₂实测循环 |
| 维修特性 | 波纹管组件不可现场维修，寿命到期整阀更换 |
| 可选配件 | 阀位反馈接近开关 |
| 型号 | 驱动 | 口径 | 可调 Cv 区间 | 接口 | 特点 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| IB4VCS‑VCC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/4" | 0.03‑0.28 | M‑CVC 公卡套 | 主力 1/4" EP 电解抛光 | 机台排气限流、吹扫限流、小流量工艺气 |
| IB4VCS‑VFCC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/4" | 0.03‑0.28 | F‑CVC 母卡套 | 母 CVC，阀块面板安装 | 集成阀组模组 |
| IB4VCS‑WCC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/4" | 0.03‑0.28 | 轨道对焊 | 焊接管路，无卡套泄露点 | 特气柜焊接限流支路 |
| IB6VCS‑VCC‑EP‑316L | 气动 NC | 3/8" | 0.05‑0.60 | M‑CVC 公卡套 | 中等流量限流 | 大流量排气、稀释回路 |
| IB8VCS‑VCC‑EP‑316L | 气动 NC | 1/2" | 0.05‑0.74 | M‑CVC 公卡套 | 大通流可调版本 | 腔体吹扫、大流量排气支路 |
型号代号释义
IB‑V：可变流量 Variac 系列；VCS=Variable‑Flow Control Solenoid‑Actuated 气动预调流量
4/6/8：1/4" /3/8" /1/2"
VCC=M‑CVC 公；VFCC=F‑CVC 母；WCC = 轨道对焊
EP：电解抛光；STD 机械抛光；316L 阀体
刻蚀、沉积腔体真空排气支路：限制排气速率，防止腔体压力剧烈冲击，替代 “切断阀 + 针阀" 两件套，节约阀箱空间。
工艺吹扫、稀释气路，需要固定*大流量，不希望额外加装 MFC。
VMB 特气柜限流支路；有毒、腐蚀性特气，波纹管结构保障极低外漏风险。
面板、光伏设备气体供给限流回路。
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