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MIYUKI 美幸辉 BAR系列伺服真空控制蝶阀

简要描述:MIYUKI 美幸辉 BAR系列伺服真空控制蝶阀
01. 结构简单的蝶阀。
02. 支持 25A 至 250A 的多种直径。
03. 取消了金属滑动部件,从而减少了颗粒物的产生。
04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。
05. 在小开口处实现压力稳定性。
06. 由于电机直接驱动,因此没有反冲。

基础信息

产品型号

BAR-J100

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-31

浏览次数

8
详细介绍
品牌MIYUKI/美幸辉应用领域能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备

MIYUKI 美幸辉 BAR系列伺服真空控制蝶阀
MIYUKI 美幸辉 BAR系列伺服真空控制蝶阀
规格

口径25A 至 250A
工作压力范围10⁵ Pa10⁻⁵ Pa

内部密封件(阀门)泄漏
10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低

外部密封件(轴)泄漏量
10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低
气体接触部件的材料SUS304
阀门密封氟橡胶O型圈
轴封氟橡胶O型圈
耐热温度主机:150℃
电机:40℃
停电期间阀门运行停止(无保持力)
伺服电动调节蝶阀(标准无电磁刹车)配套控制器:MGCS‑11 / MG‑mini485 / MS‑VP✅ 型号编码规则(重点)BAR -【法兰代码】【口径】-【后缀】
  • J = KF (NW) 快拆法兰(实验室、小型设备主流)

  • N = ISO 法兰(工业量产设备)

  • C = CF 金属密封法兰(超高真空可选)

    后缀区分

  • 无后缀 /-S:标准密封型(全关可密封,支持切断真空)

  • -L:泄漏型(无完整密封,只做节流,不能wan全隔断)

  • -K:Kalrez 全氟醚密封(耐高温、耐等离子腐蚀)

  • -BR / BAR-L:带电磁制动刹车款(断电锁阀位,替代 GAR 小型口径方案)
    BAR 特 長 GAR 特 長 ■構造がシンプルなバタフライバルブ。 ■排気特性に優れたゲートバルブ。 ■25A~250Aまで幅広い口径に対応。 ■80A~400Aまで幅広い口径に対応。 ■金属摺動部が無く低パーティクルを実現。 ■停電時もフルクローズのシール可能。 ■極低騒音での開閉およびコントロール動作。 ■極低騒音での開閉およびコントロール動作。 ■微小開度での圧力安定性を実現。 ■フルクローズまで流量制御可能な構造。 ■モータとの直結駆動によるノンバックラッシュ。 ■ステンレス研磨材により低いガス放出性。

运用场景

1. 光学、显示、真空镀膜(BAR 最主流市场)

  • 镜片 AR 镀膜、装饰膜、手机盖板 ITO 蒸镀

  • 车灯反光罩、光学滤光片真空成膜

  • OLED、柔性薄膜设备腔体背压稳压

优势:微小开度稳定,压力波动小,保障膜层均匀,减少针孔、起皮不良

2. 半导体设备(研发 / 中试线优先;大规模量产产线多用 GAR)

  • PVD、CVD 研发样机、等离子清洗腔体

  • 实验室刻蚀设备、离子注入试验装置

  • 晶圆真空退火、真空脱气工艺

✅量产机如果客户要求断电防止大气倒灌:不选标准 BAR,选用 BAR‑BR 带刹车,或者直接升级 GAR 闸阀

3. 新能源锂电行业

  • 软包电池真空注液、极片真空干燥

  • 电芯真空脱泡、梯度泄压控制,防止电解液飞溅

4. 光伏行业

钙钛矿薄膜沉积、晶硅电池钝化膜 PVD 腔体稳压

5. 科研院校真空系统

电子束沉积、材料真空热处理、真空钎焊、氦检漏系统压力调控

6. 工业通用真空

真空烧结炉、特种材料脱气、真空测试腔体

BAR 标准版 VS BAR-BR 带刹车 VS GAR 闸阀)

型号断电特性结构适用客户
标准 BAR断电阀位自由,无锁止蝶阀,性价比高设备配备 UPS、工艺允许短暂压力波动、预算一般、镀膜、实验设备
BAR‑BR(带制动器)断电锁定当前开度蝶阀小口径、需要防倒灌,但空间放不下 GAR 闸阀
GAR 系列闸阀断电可自动全关密封闸阀,流导更优、更低颗粒半导体量产设备、高真空 10⁻⁶Pa、工艺严禁大气倒灌






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