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| 品牌 | MIYUKI/美幸辉 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
MIYUKI 美幸辉 BAR系列伺服真空控制蝶阀
MIYUKI 美幸辉 BAR系列伺服真空控制蝶阀
规格
| 口径 | 25A 至 250A |
|---|---|
| 工作压力范围 | 10⁵ Pa 至10⁻⁵ Pa |
内部密封件(阀门)泄漏 | 1× 10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低 |
外部密封件(轴)泄漏量 | 1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低 |
| 气体接触部件的材料 | SUS304 |
| 阀门密封 | 氟橡胶O型圈 |
| 轴封 | 氟橡胶O型圈 |
| 耐热温度 | 主机:150℃ |
| 电机:40℃ | |
| 停电期间阀门运行 | 停止(无保持力) |
BAR -【法兰代码】【口径】-【后缀】J = KF (NW) 快拆法兰(实验室、小型设备主流)
N = ISO 法兰(工业量产设备)
C = CF 金属密封法兰(超高真空可选)
后缀区分
无后缀 /-S:标准密封型(全关可密封,支持切断真空)
-L:泄漏型(无完整密封,只做节流,不能wan全隔断)
-K:Kalrez 全氟醚密封(耐高温、耐等离子腐蚀)
-BR / BAR-L:带电磁制动刹车款(断电锁阀位,替代 GAR 小型口径方案)
BAR 特 長 GAR 特 長 ■構造がシンプルなバタフライバルブ。 ■排気特性に優れたゲートバルブ。 ■25A~250Aまで幅広い口径に対応。 ■80A~400Aまで幅広い口径に対応。 ■金属摺動部が無く低パーティクルを実現。 ■停電時もフルクローズのシール可能。 ■極低騒音での開閉およびコントロール動作。 ■極低騒音での開閉およびコントロール動作。 ■微小開度での圧力安定性を実現。 ■フルクローズまで流量制御可能な構造。 ■モータとの直結駆動によるノンバックラッシュ。 ■ステンレス研磨材により低いガス放出性。
镜片 AR 镀膜、装饰膜、手机盖板 ITO 蒸镀
车灯反光罩、光学滤光片真空成膜
OLED、柔性薄膜设备腔体背压稳压
优势:微小开度稳定,压力波动小,保障膜层均匀,减少针孔、起皮不良
PVD、CVD 研发样机、等离子清洗腔体
实验室刻蚀设备、离子注入试验装置
晶圆真空退火、真空脱气工艺
✅量产机如果客户要求断电防止大气倒灌:不选标准 BAR,选用 BAR‑BR 带刹车,或者直接升级 GAR 闸阀
软包电池真空注液、极片真空干燥
电芯真空脱泡、梯度泄压控制,防止电解液飞溅
| 型号 | 断电特性 | 结构 | 适用客户 |
|---|---|---|---|
| 标准 BAR | 断电阀位自由,无锁止 | 蝶阀,性价比高 | 设备配备 UPS、工艺允许短暂压力波动、预算一般、镀膜、实验设备 |
| BAR‑BR(带制动器) | 断电锁定当前开度 | 蝶阀 | 小口径、需要防倒灌,但空间放不下 GAR 闸阀 |
| GAR 系列闸阀 | 断电可自动全关密封 | 闸阀,流导更优、更低颗粒 | 半导体量产设备、高真空 10⁻⁶Pa、工艺严禁大气倒灌 |