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日本THOMAS托马斯 TRL系循环精密低温恒温槽

简要描述:日本THOMAS托马斯 TRL系循环精密低温恒温槽
这些产品用途广泛,包括低温测试和样品维护箱的温度控制,以及通过流体介质循环冷却外部设备。可以根据自身特定需求,选择合适的产品,并考虑不同的温度范围、容量、冷却能力、控制方式以及是否配备循环泵等因素。

基础信息

产品型号

TRL-2200L

厂商性质

经销商

更新时间

2026-08-01

浏览次数

11
详细介绍
品牌THOMAS/日本托马斯温控功能制冷/加热型
价格区间面议循环功能内外循环
仪器种类恒温浴槽产地类别进口
应用领域能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备

日本THOMAS托马斯 TRL系循环精密低温恒温槽
日本THOMAS托马斯 TRL系循环精密低温恒温槽
トーマス科学器械株式会社,日系恒温槽biao杆,低温恒温水浴(低温恒温槽)分为T 系列敞开台式水浴、TRL 系列精密恒温槽、超低温深冷槽、程序控温槽四大品类,采用 PID 智能控温、喷射静音搅拌、全封闭风冷压缩机、环保无氟冷媒,内胆标配 SUS304/316 不锈钢,具备超温、低水位、压缩机过载多重防护,可槽内浸泡恒温 + 外接管路循环制冷双用,主打高精度、长时间连续稳定运行,适配实验室、半导体、精细化工、生物医药、精密检测行业。

一、TRL 系列通用核心特点

  1. 温控系统

    全系列数字化 PID 闭环控温,常规机型稳定度 ±0.05℃,超高精度款可达 ±0.01℃;数显分辨率 0.01℃,低温无温度漂移。

  2. 双工作模式

    ①槽内浸泡:样品、烧杯、器件直接槽内恒温;

    ②外接循环:标配 / 选配磁力循环泵,对外接反应釜、腔体、真空泵、光路、静电卡盘输送恒温冷媒。

  3. 材质配置

    标配 SUS304 不锈钢内胆;腐蚀工况可选 SUS316 内胆、316 不锈钢盘管;全系环保无氟冷媒。

  4. 安全防护

    漏电保护、低液位报警、超温停机、压缩机延时保护、传感器故障自检,无尘车间、半导体产线可稳定长期运行。

  5. 搅拌结构

    螺旋桨全域搅拌 / 双流喷射搅拌,槽内温差极小,批量样品恒温一致性高。

二、全分类 + 全型号、参数、特点整理

第一大类:台式标准精密恒温槽(实验室 / 半导体湿法清洗主流)

1、TRL-101 系列(爆款通用款)

型号温控范围容积温度稳定度制冷功率核心用途
TRL-101F-5℃ ~ +60℃32L±0.05℃244W基础通用,晶圆小件浸泡、色谱 / 真空泵常规冷却
TRL-101FE-15℃ ~ +60℃32L±0.05℃加强制冷湿法蚀刻、超声波清洗槽低温恒温
特点:大开口 400×300mm,可放置大量容器,可加装外置循环泵,半导体湿法制程zui常用型号。

2、TRL-11L / TRL-11LP / TRL-11VP(桌面紧凑型)

  • TRL-11L:-20~+80℃,22L,基础冷热一体,管路循环灵活

  • TRL-11LP:可编程 20 段温控,小体量自动化实验

  • TRL-11VP:-20~80℃,强防腐内胆,微量药液恒温

    适用:小型检测设备、芯片小样恒温、桌面设备内嵌冷却。

3、TRL-112Z(超高精度旗舰台式槽)

  • 温控:-20℃~+80℃,容积 8L

  • 稳定度:±0.01℃(全系民用槽最高精度)

  • 定时:最长 99h59min 无人值守

    适用:半导体探针台标定、光学仪器、精密物性检测。

第二大类:程序控温恒温槽(元器件老化、温循测试专用)

1、TRL-140 / TRL-140P

  • 温控:-45℃ ~ +50℃,34L

  • TRL-140:标准恒温;TRL-140P:多段程序升降温,自定义温度曲线

  • 稳定度:±0.1℃,1100W 大功率制冷

    半导体用途:芯片、封装器件高低温老化、可靠性温循测试、光刻胶固化实验。

2、TRL-130

  • 温控:-35℃~+50℃,宽温程序控温,循环泵扬程 2m、流量 10L/min

    适用:第三代半导体材料循环温度测试、中试反应釜控温。

第三大类:高温强力冷却槽(高温工况设备散热)

TRL-750EX

  • 温控:-5℃ ~ +80℃(行业少见 40℃以上依旧可制冷,普通机型 40℃压缩机会停机保护)

  • 容积 34L,制冷功率 2300W,大流量循环泵

    用途:激光器、大功率真空泵、扩散炉、半导体大型设备高温散热、高负载恒温冷却。

第四大类:超低温深冷恒温槽(真空镀膜、冷阱专用)

双级压缩二元制冷,zui低 - 80℃,适配 PVD/CVD 超高真空腔体冷凝
  1. TRL-070

    极限 - 75℃,16L,甲醇冷媒 4h 降温至 - 75℃,稳定度 ±0.05℃;真空腔体油气冷凝回收。

  2. TRL-080Ⅱ

    旗舰深冷,极限-80℃,加强压缩机,第三代半导体、深冷捕集、超高真空配套。

第五大类:工业大容量循环恒温槽(产线量产、中试)

  1. TRL-1500H / TRL-1500L

  • TRL-1500H:-5℃~ 常温,66L;TRL-1500L:-35℃~ 常温,66L

  • 循环泵:扬程 3m,流量 30L/min,大功率持续制冷

    用途:产线批量晶圆清洗槽、大型反应容器恒温。

  1. TRL-2200H / TRL-2200L

    76L 超大槽体,温控 - 5~+80℃,循环流量 40L/min,工业中试、大型设备集中冷却。

第六大类:TRL 浸入式手部冷却器(灵活盘管,半导体点位冷却)

机身 + 可弯折盘管,可伸入任意槽体、腔体,嵌入式安装,前文重点型号汇总:
  1. TRL-107NH/NHF:迷你 316 不锈钢盘管,-5~40℃,小型腔体、传感器降温;

  2. TRL-117M/V:主力款 - 20℃,V 为 316 防腐盘管,蚀刻槽、旋涂机冷却;

  3. TRL-117STS:-60℃,TRL-107SLCⅡ:-80℃,镀膜冷阱、深冷实验。

三、半导体行业精准选型对照表

半导体工序 / 设备shou选 TRL 型号选型理由
常规湿法清洗、超声波水槽恒温TRL-101F、TRL-101FE大容量、耐弱酸碱、长时间稳定恒温
光刻机、光学镜头、探针台精密温控TRL-112Z±0.01℃超高精度、低震动
EBARA / 普旭真空泵水冷散热TRL-750EX、TRL-101F大循环流量、高温持续制冷
芯片元器件高低温老化测试TRL-140P、TRL-130可编程自动温循、宽低温区间
PVD/CVD 镀膜、真空腔体冷阱TRL-070、TRL-080Ⅱ、TRL-107SLCⅡ-70~-80℃深冷、冷凝杂质提升真空度
点位局部冷却、设备内嵌集成TRL-117V、TRL-107NHF柔性 316 盘管、安装灵活
量产产线大批量槽体恒温TRL-1500L、TRL-2200L超大容积、大流量循环















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