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| 品牌 | Vatvalve | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 其他 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 3C阀门类别 | 工业 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
进口瑞士VAT 10.8 大口径超高真空UHV 闸阀
进口瑞士VAT 10.8 大口径超高真空UHV 闸阀
VATLOCK 无摩擦机械锁紧结构
阀板关闭后双侧机械锁死，开合全程密封面无滑动摩擦，低颗粒、低放气；断气失压自动锁闭，杜绝腔体破空，工业连续运行可靠性ji强。
全金属波纹管阀杆密封
焊接式不锈钢波纹管隔离大气与真空腔体，无外泄漏，氦漏率优异，无润滑油污染腔体。
可整体高温烘烤
阀体全域最高250℃烘烤，适配 UHV 腔体除气需求。
硫化一体式阀板密封，标配 FKM，可升级 FFKM 耐腐蚀密封。
| 参数项目 | 标准指标 | 备注说明 |
|---|---|---|
| 真空范围 | \(1×10^\ \text～1.6\ \text\) | 稳定超高真空 UHV 区间 |
| 整机氦漏率 | \(＜1×10^\ \text\) | 半导体洁净制程标准 |
| 静态关阀耐压 | 最大 1.6bar 压差 | 长期保压稳定 |
| 允许开启压差 | ≤30mbar | 严禁大压差强行开阀 |
| 烘烤温度 | 阀体最高 250℃；气缸≤80℃；电磁阀≤50℃ | 电磁阀不可高温烘烤 |
| 气源压力 | 气动驱动 4~7bar 干燥洁净压缩空气 | 工业通用气源 |
| 循环寿命 | 标准≥30 万次 | 量产产线长周期免维护 |
| 阀体材质 | 304 不锈钢 | 腔体内部镜面抛光，低放气 |
| 开关时长 | DN63~DN100：1.2~1.6s；DN160~DN320：2~3.5s | 可定制低速缓冲降噪 |
CE：CF-F 公制刀口法兰（超高真空shou选）
UE：CF-UNF 美标刀口法兰
PE：ISO-F 国标真空法兰（工业量产通用）
KE：KF 快拆法兰（小检修口）
JE：JIS 日标法兰（日系半导体设备配套）
01：手动，无位置感应、无电磁阀，腔体检修隔断
08：手动 + 简易位置反馈开关
24：双作用气动，24VDC 双位置感应、无内置电磁阀（PLC 自动化主流）
44：双作用气动，内置 24VDC 电磁阀 + 双位置感应，远程一体化控制
48：三位气动（全开 / 半开 / 全关），梯度调压、预抽限流专用
| 型号 | 法兰 | 驱动配置 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| 10836-CE01 | CF 公制 | 手动 | 实验室腔体检修 |
| 10836-CE24 | CF 公制 | 气动带感应 | 科研镀膜、质谱腔体 |
| 10836-PE44 | ISO-F | 电磁阀一体气动 | 半导体腔体自动化隔离 |
| 型号 | 法兰 | 定位 |
|---|---|---|
| 10838-PE24 | ISO-F | 刻蚀、ALD、PVD 腔体标配主力 |
| 10838-CE44 | CF | 超高真空精密镀膜隔断 |
| 型号 | 法兰 | 用途 |
|---|---|---|
| 10840-PE24 | ISO-F | 分子泵、离子泵入口保护阀 |
| 10840-JE24 | JIS | 日系晶圆设备配套 |
DN160：10844-PE24、10844-CE44
DN200：10846-PE24
DN320：10850-PE44
多用于大型镀膜设备、同步辐射、真空炉总路隔离
-FFKM：全氟橡胶密封，耐卤素、HF、Cl₂等腐蚀气体
-PV：阀体集成预抽旁路接口
-SL：低速缓冲气缸，高频启停防冲击、降颗粒
-HT：气缸水冷耐高温模组
运用场景：
ALD 原子层沉积
PVD 物理气相沉积（溅射）
干法刻蚀
LPCVD / PECVD
离子注入
真空传输系统
真空机组与高真空泵保护
晶圆量检测设备
优良封装制程
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