简要描述：日本NFK南国工业NK-2300KF法兰真空软管
NFK 南国工业（南国フレキ工業）半导体专用产品 NFK 南国工业核心为半导体真空管路、真空连接配件、高纯化学品输送管路、真空精密组件，适配半导体刻蚀、镀膜、晶圆传送、真空腔体、真空泵组、气体输送等高洁净、高真空工况，全部产品漏率极低、耐洁净耐腐蚀、适配 KF/ISO 标准。

1. 无外层编织网套：大幅降低放气速率、减少颗粒物，适配洁净真空；

2. 波纹管标配 CLT 超柔型，弯曲半径小、减振优秀；

3. 标准氦漏率 ≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，满足高真空制程；

4. 波纹管材质：SUS304（通用）/ SUS316L EP 电解抛光（半导体shou选）；

5. 使用红线：只允许吸收轴向伸缩、径向偏移、角偏转；严禁扭转载荷；

6. 适用介质：干燥 N₂、Ar、CDA 等不腐蚀不锈钢的惰性气体；卤素、HF 等腐蚀气体不可直接使用。

NK-2300KF｜KF (NW) 快拆法兰真空软管

基础参数

• 接头形式：两端 KF 标准真空快拆法兰

• 口径规格：KF10、KF16、KF25、KF40、KF50

• 长度范围：100mm～3000mm 任意定制

• 压力范围：全真空 (FV)～0.1MPa（短时耐压 0.3MPa）

• 标准温度：-15℃～150℃（配套 Viton 密封圈）

• 结构：波纹管与法兰一体氩弧焊接，法兰可小幅旋转对位

半导体运用场景（zui通用真空型号）

1. 干式真空泵、分子泵、涡轮泵进出口减振柔性段

   PVD、CVD、刻蚀机、离子注入设备前级泵、主抽泵连接；

2. 腔体小型真空支管、闸阀 / 角阀与管路之间柔性过渡；

3. EFEM 真空传输腔、Loadlock 锁气室外接真空管路；

4. 需要频繁拆装维护的真空支路（KF 卡箍拆装便捷）；

5. 光学蒸镀、溅射设备、量测设备（SEM、探针台）真空管路。

NK-2300V｜JIS VG-VF 真空配对法兰软管

基础参数

• 接头形式：一端 VG 公法兰、一端 VF 母法兰（日系 JIS 真空标准配对法兰）

• 公称通径：10A～100A

• 长度范围：200mm～3000mm 定制

• 压力范围：全真空 (FV)～0.1MPa

• 使用温度：-15℃～150℃

半导体运用场景（日系设备主力大口径真空款）

1. 东京电子、日立、爱发科等日系大型真空设备主抽气管道；

2. 大型扩散炉、氧化炉、真空退火炉真空主管柔性补偿；

3. 中大口径干式真空泵组总管、多条泵汇流真空管路；

4. 真空腔体大口径主抽管道，补偿热伸缩与安装错位；

5. Fab 厂务大型真空集管、中央真空系统机台接驳。

日本NFK南国工业NK-2300KF法兰真空软管 NK-2300PT｜Pipe End 管端式微型真空波纹管

基础参数

• 接头形式：两端直管光管端头（无法兰），直接搭配卡套接头组装；

• 管径规格：1/8B (φ3.18)、1/4B (φ6.35)、3/8B (φ9.52)、1/2B (φ12.7mm)

• 长度：100mm～3000mm 定制

• 压力范围：全真空 (FV)～0.3MPa

• 使用温度：-196℃～300℃（三款里面耐温区间最宽，支持低温真空）

半导体运用场景（狭小空间微型真空支路专用）

1. 机台腔体内部夹层、狭小模组内微量真空管路；

2. 真空压力传感器、真空规、小型微调阀连接软管；

3. 晶圆平台、运动机构上随动微型真空拾取气路；

4. 小型吹扫真空支管、预真空辅助细管路；

5. 分析仪器、检漏设备、小型测试平台精密真空回路。

NK-2300 三款真空软管横向对比表

半导体行业完整选型指引

1. 刻蚀 / PVD/CVD 机台干泵、分子泵、需要经常拆检 → NK-2300KF

2. 日系大型真空炉、设备大口径主真空抽气管道 → NK-2300V

3. 腔体内部狭小空间、真空规、微型阀、细小真空拾取管路 → NK-2300PT