简要描述：RGL利佳诺MFR-303叶轮式流量计
MFR 系列是叶轮霍尔式，主打半导体药液 / 超纯水**，接液 PFA 氟树脂，无金属析出，小型透明管路一体化流量计，和 KSL 卡门涡街（PPS 树脂，冷却水）形成产品分工。

RGL利佳诺MFR-303叶轮式流量计测量原理

叶轮（涡轮）+ 霍尔磁检测原理

1. 流体推动内部 PFA 叶轮旋转，叶轮内置微型磁铁；

2. 外部霍尔 IC 感应磁铁旋转频率；

3. 旋转频率与体积流量成正比，芯片换算瞬时流量、累计流量；

4. LCD 本地显示，同时输出模拟量、脉冲、报警信号；

5. 流量测量原理：
   　利用压电元件检测磁极产生的卡门涡流，并通过微控制器进行计算，显示流量和温度。

6. 它配备温度传感器，可测量流体温度，并通过温度补偿减少因液体温度变化引起的精度误差。

7. 与液体接触的部件全部采用新型PFA（无O型圈）制成。可与约80种化学溶液兼容。

8. 紧凑型设计

9. 支持较宽的流量范围（从 0.3 至 2.5 升/分钟到 10 至 100 升/分钟）

仅测单相液体，适合超纯水、弱酸碱药液；气泡、大颗粒杂质会磨损叶轮、造成测量漂移。

和 KSL 区别：KSL = 卡门涡街，无转动部件，适合冷却水；MFR = 有叶轮，PFA 接液，高纯药液 / 超纯水场景。

产品特点

1. 全氟接液 PFA，极低金属溶出，半导体、清洗工艺 DI 水专用；

2. 机身小巧透明流道，肉眼可观察管路内流体状态；

3. 瞬时流量 + 累计流量同时监测，流量异常报警输出，对接 PLC 做工艺联锁；

4. 安装要求低，无需很长直管段，适合设备内部狭小空间；

5. 软管倒钩直插，无需螺纹接头，配管简单快捷；

6. 支持多台集成歧管底座，多路流量集中监测，减少管路零件。

应用场景

1. 半导体设备：湿法清洗机、刻蚀设备 DI 超纯水回路、药液供给流量监测；

2. PCB 面板设备：清洗线纯水、化学药液流量监控；

3. 液晶面板制造：工艺药水循环流量；

4. 精密清洗设备：纯水、弱腐蚀化学药剂供给；

5. 实验室高纯流体回路；

6. 制药、生化设备低腐蚀洁净液体监测。
   
   RGL利佳诺MFR-303叶轮式流量计规格：
   

模型			MFR-301	MFR-302	MFR-303	MFR-304	MFR-305
流速范围			0.3–2.5 升/分钟	0.4–4.0 升/分钟	2.0–16 升/分钟	5.0–50 升/分钟	10–100 升/分钟
待测量液体			水、纯净水、化学溶液
准确性			±2%FS (25℃)				±3%FS (25℃)
可重复性			±0.5%FS
流体温度			0-90°C（无冰点或沸点）
温度精度			±2℃ ±0.15×ΔT℃ (ΔT：环境温度 - 流体温度)
保证温度精度			流体温度：15-60℃
最大工作压力			1 MPa (G) @ 25℃			0.75 MPa (G) @ 25℃	0.65 MPa (G) @ 25℃
允许的环境温度， 允许的环境湿度			0 至 50°C（无结冰） 95% 相对湿度或更低（无冷凝）
储存温度			-10 至 70°C（无冰冻）
防护结构			IP65 等级（防水防尘）
接触液体的部件材料			新PFA
信号输出	流量输出	无显示
		已显示	电流 4-20mA，24VDC 输入时允许负载电阻为 250-500Ω，12VDC 输入时允许负载电阻为 250Ω 或更低，或 脉冲输出（1kHz@FSDuty 50% NPN 开集电极输出，最大 DC30V/80mA）。 集成电源：脉冲输出。
	温度输出 （仅在水流时）	无显示	1-5VDC（0-100°C），外部负载电阻250kΩ或更高。
		已显示	电流：4-20mA（0-100℃） 允许负载电阻：24VDC 输入时为 250-500Ω，12VDC 输入时为 250Ω 或更低
	报警信号		报警触点：2 点，NPN 型开路集电极输出，最大直流 30V/80mA（仅带指示灯）
数字通信			RS485（MODBUS 协议，RTU 模式）（仅限带显示屏的型号）
电源电压			12-24VDC ±10% 电流消耗（无指示灯：≤80mA；有指示灯：≤140mA）
电缆长度			3米电缆，两端已预接，并附赠备用焊锡。
大量的		无显示	160克或以下			175克或以下	200克或以下
		已显示	160克或以下			180克或以下	205克或以下

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