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| 品牌 | KOFLOC/科赋乐 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 其他 | 介质分类 | 气体&液体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
电磁驱动:线圈通入电流(PWM 优先,也可模拟电压)产生电磁吸力,克服扁平复位弹簧弹力,驱动铁芯柱塞抬起,改变阀口开度;输入电流大小决定阀口开启程度,电流越大,阀口开度越大,流通能力越大。
弹簧复位:断电时,扁平弹簧把柱塞压回阀座,阀门关闭。特殊扁平弹簧结构降低摩擦,减小磁滞,提升控制分辨率。
⚠️重要:开环特性。同样控制信号下,实际流量受上下游压差影响。要稳定流量,必须搭配流量计 + PID 做闭环;该阀不能保证**零泄漏切断,需要**关断场合需额外增加切断阀ManualsLib。
驱动推荐:优先PWM 驱动(200‑1000Hz),模拟电压驱动磁滞、线性度会变差。供电:12VDC /24VDC 可选,最大功耗 2W。
| 项目 | 3010 | 3020 | 3030 | 3040 | 3050 |
|---|---|---|---|---|---|
| 阀孔孔径 mm | 0.08 | 0.28 | 0.50 | 0.75 | 1.30 |
| 最大 Cv 值 | 0.00022 | 0.0021 | 0.0086 | 0.02 | 0.042 |
| N₂参考流量(1bar 压差) | 100 CCM | 1000 CCM | 5 LPM | 10 LPM | 20 LPM |
| 耐压 MPa (G) | 0.98 | 0.98 | 0.98 | 0.98 | 0.98 |
| 最大工作压差 MPa (G) | 0.98 | 0.98 | 0.60 | 0.40 | 0.40 |
| 电源 | 12VDC /24VDC ±10%,支持 PWM | ||||
| 最大功耗 | 2W(24V) | ||||
| 磁滞 | ≤15% FS(满量程电流) | ||||
| 过滤器 | 20μm 进出双过滤 | 无 | 无 | 无 | 无 |
| 内部泄漏 | ≤0.1 ml/min | ≤0.2 ml/min | ≤0.2 ml/min | ≤0.2 ml/min | ≤0.2 ml/min |
| 工作温度 | 0℃~50℃;储存‑5℃~70℃ | ||||
| 标准接口 | φ3 软管接头;可选 Rc1/8 内螺纹 | ||||
| 重量 | 约 60g;Rc1/8 接头版本约 140g | ||||
| 介质 | N₂、Air、He、Ar、H₂、CO₂等洁净干燥气体 |
BS 黄铜版(标准):C3604 黄铜,FKM 氟橡胶密封;不适合强腐蚀气体。
SUS 不锈钢版(选型指定):SUS316 阀体,适合弱腐蚀气体,成本更高科赋乐精密...。
超小型轻量化,体积很小,适合设备内部集成。
低功耗最大 2W,适合仪器设备供电。
特殊热处理磁轭 + 扁平弹簧,降低摩擦抖动,磁滞控制≤15% FS,小流量控制分辨率好。
RoHS 合规;常闭结构,断电安全关闭。
多接口可选:φ3 软管、Rc1/8 螺纹,方便样机集成。
分析仪器:气相色谱 GC、质谱设备、气体分析仪,微量气体配比、吹扫气控制(3010/3020 用量最大)。
实验室设备:气体配比装置、混合配气系统、小型气体发生装置,搭配 MFM 做闭环流量控制。
精密压力控制:小腔体压力闭环调压,配合压力传感器 + PID。
镀膜 / 等离子小型设备:小流量工艺气调节;注意:强腐蚀工艺不建议用黄铜阀体,选用 SUS 版本。
OEM 设备内置阀:很多 KOFLOC EX‑200 系列微型 MFC 内部,就是内置 3000 系列比例阀作为执行器。
3010 内置 20μm 过滤器,其余型号无过滤器,上游管路必须加装过滤器,防止颗粒划伤阀口。
压差不能超过型号最大工作压差,压差过高会出现控制畸变。
PWM 驱动优先;模拟电压控制性能下降;不建议直接 PLC 电压输出开环使用,必须闭环。
只能干燥洁净气体;介质含油、水汽会损坏 FKM 密封,缩短寿命。
需要切断,后端额外加截止阀,该阀存在微小内漏。