产品型号
厂商性质
更新时间
浏览次数
产品分类
相关文章
| 品牌 | AichiTokei/爱知时计 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 超声波 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
爱知时计Aichi Tokei 超声波气体流量计原理：传播时间式超声波气体流量计，零压损、无运动部件；仅做气体监测、累积计量，不能闭环控制流量，不能替代 MFC. 半导体适用介质：CDA/XCDA 洁净干燥压缩空气、N₂氮气、Ar 氩气；订货需指定气体种类，出厂做温压补偿（标况 Nm³/h 输出）
ATZTA‑--/5P‑
系列
TRX：螺纹连接，小‑中口径 DN25~DN80
TRZ：JIS10K 法兰，大口径 DN100~DN200
电源代码
B：内置锂电池（寿命约 10 年，无需外接电源）
D：DC24V 外部供电，支持 4‑20mA 模拟输出
R：DC24V 外部供电，RS485‑Modbus RTU 通讯（半导体zui常用）
/5P：脉冲输出标配；选项：‑C 半导体脱脂清洗（Fab 高纯管路必选）愛知時計電...
完整型号示例：ATZTA‑TRX40‑R‑N2/5P‑C（DN40，24V，RS485，氮气，脉冲输出，半导体脱脂处理）
表格
| 型号 | 口径 | 最大流量 Nm³/h | 测量范围 Nm³/h | 连接方式 |
|---|---|---|---|---|
| ATZTA‑TRX25 | DN25(Rc1") | 35 | 0.7~35 | 内螺纹 Rc1" |
| ATZTA‑TRX32 | DN32(Rc1‑1/4") | 65 | 1.3~65 | 内螺纹 Rc1‑1/4" |
| ATZTA‑TRX40 | DN40(Rc1‑1/2") | 80 | 1.6~80 | 内螺纹 Rc1‑1/2" |
| ATZTA‑TRX50 | DN50(Rc2") | 150 | 3.0~150 | 内螺纹 Rc2" |
| ATZTA‑TRX65 | DN65 | 240 | 4.8~240 | 内螺纹 |
| ATZTA‑TRX80 | DN80 | 300 | 6.0~300 | 内螺纹 |
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 测量原理 | 超声波传播时间差，零压力损失，无内部阻挡件 |
| 测量精度 | ±2.5% RD（标况 Nm³，0.5MPa，常温，干燥 N₂/CDA） |
| 内置传感 | 压力、温度传感器，自动温压补偿，直接输出标况流量 |
| 工作压力 | 0‑1.0MPa（表压） |
| 介质温度 | ‑10～+60℃（无冷凝） |
| 外壳防护等级 | IP64 |
| 显示 LCD | 瞬时流量 Nm³/h、累积流量 Nm³、压力 kPa、温度℃ |
| 输出信号 | 1. 脉冲输出（标配 5P）；2.4‑20mA（D 型，可切换输出流量 / 压力 / 温度）；3.RS485 Modbus‑RTU（R 型，半导体厂务shou选） |
| 电源 | B 型内置锂电池（约 10 年）；D/R 型 DC24V±10% |
| 半导体关键选项 | ‑C 脱脂清洗处理（接触气体部件无油，Fab 必须）；指定气体：Air / N2 / Ar；RoHS、CE、UKCA 认证 |
注意：只用于厂务辅助气体监测，不用于刻蚀 / 沉积工艺气体闭环控制，不能替代 MFC 质量流量控制器Aichi Toke...。
ATZTA‑TRX（DN25‑80 螺纹）【用量最大】
机台支管：光刻机、刻蚀机、PVD/CVD 设备的CDA/XCDA、N₂吹扫支路，单台机台用气计量、泄漏监控；
Load‑lock 腔氮气吹扫管路，晶圆盒氮气柜供气支管；
洁净室子分配管路，做能源统计、机台用气分摊；
封装测试：探针台、键合机 CDA、氮气消耗监测。
半导体选型习惯：优先选 ‑R（RS485）+‑C 脱脂选项，接入厂务 SCADA 系统；电池 B 型用于不方便布线的分支点。
ATZTA‑TRZ（DN100‑200 法兰）
Fab 厂务总管：CDA、氮气站输出总管、楼层分配主管；
厂务能源管理，整层 / 整车间气体总耗量统计；
适合大管径主管路，零压损，不影响管网压力。
上一篇
