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| 品牌 | TOFCO/东富科 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 其他 | 介质分类 | 气体&液体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
东富科TOFCO 半导体湿法专用高纯药液流量计
FM‑PF（全 PFA 接液）
细分：FM‑PF‑S 标准；FM‑PF‑C 定制；FM‑PF‑E Excel 超小流量
特点：接液全部 PFA（特氟龙），耐强酸强碱、qin氟酸、高纯药液；玻璃锥管可视；可选光电传感器报警
量程：E 型：2mL/min‑50L/min；S 型：0.4‑100L/min；C 型可定制 0.1L/min 起
压力 0.4MPa；温度‑10~80℃；接口 Rc1/4~Rc3/4，PFA 法兰可选
应用：半导体湿法刻蚀、清洗、PCB 药液循环、高纯化学品、酸碱药液测量
特点：PFA 接液；可视读数 + 4‑20mA 模拟输出，可接 PLC；耐腐蚀药液
量程同 FM‑PF；DC24V 供电，4‑20mA 输出
应用：半导体湿法设备，需要远传信号的酸碱药液回路东フロコー...
特点：PVC 本体，耐化学；经济型药液流量计；FC‑AQ/AQX/AQS/AQSX 衍生型号
量程：液体 0.2‑50L/min；压力 0.4MPa；温度≤50℃
接口 PVC 螺纹 / 粘接接口
应用：电镀、PCB、化学药液，中低腐蚀性工况，预算有限场景东フロコー...
表格
| 系列大类 | 材质 | 典型优势 | 适用介质 |
|---|---|---|---|
| FM‑PZ/PX/PG/PR | 玻璃 + SUS304 | 面板嵌入，设备面板安装 | 普通气体、水、中性液体 |
| DUO‑PX / DUO‑PF | SUS304 / PFA | 目视 + 4‑20mA 远传输出 | 普通介质 / 腐蚀药液，需要 PLC 采集 |
| FC‑CX18/C21/CH22/CX24‑CX30 | 亚克力 (PMMA) | 经济型、体积小、交期快 | 纯水、普通气体，温度＜55℃ |
| FC‑S / FC‑SX | 硼硅玻璃 + 金属外壳 | 耐高温，耐压更高 | 热水、温度偏高介质 |
| FM‑PF / DUO‑PF | 全 PFA 接液 | 耐强酸强碱、qin氟酸 | 半导体药液、高纯化学品 |
| FC‑A 系列 | PVC | 经济型防腐 | 电镀、PCB 中等腐蚀药液 |
| FM‑KF | SUS/PVC 法兰 | 中大流量法兰安装 | 大流量管路、化工管道 |
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