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| 品牌 | AZBIL/日本山武 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本AZBIL山武 数字式质量流量控制器
F4Q 是 azbil 通用工业级热式数字质量流量控制器，自带 LCD 液晶显示，高速响应、低压损，一体显示 / 分离显示两种结构，SUS316 流路，DC24V 供电，支持模拟量 + RS485 Modbus 通讯
表格
| 型号 | 满量程 FS | 控制范围 | 响应时间 |
|---|---|---|---|
| F4Q9200 | 0.2 L/min（200 mL/min） | 1‑100%FS | 0.3 s typical |
| F4Q9500 | 0.5 L/min（500 mL/min） | 1‑100%FS | 0.3 s typical |
| F4Q0002 | 2 L/min | 1‑100%FS | 0.3 s typical |
| F4Q0005 | 5 L/min | 1‑100%FS | 0.3 s typical |
| F4Q0020 | 20 L/min | 1‑100%FS | 0.3 s typical |
| F4Q0050(J/K) | 50 L/min | 1‑100%FS | 0.7 s typical |
| F4Q0200 | 200 L/min | 1‑100%FS | 0.7 s typical |
| F4Q0500 | 500 L/min | 1‑100%FS | 0.7 s typical |
型号后缀说明：
B：一体显示型；C：分离显示型（配 2m 专用线缆，表头可远程安装）
6：SUS316 流路；T：氟橡胶 FKM 密封圈；S：EPDM 密封圈
N1：RS‑485（Modbus‑RTU / CPL 协议可选）；接口：Rc1/4、1/4 卡套等可选
微型热式质量流量传感 + 闭环比例电磁阀控制
测量部分：微加工热传感元件直接接触气流；气体带走传感器热量，测温元件检测温差，直接输出质量流量，不受温度、压力波动影响。
控制部分：内置常闭型比例电磁阀；将实测流量 PV 与设定流量 SP 对比，PID 闭环实时调节阀门开度，把流量稳定在设定值。
数字化处理：内置多种气体转换系数，面板 LCD 实时显示瞬时流量、设定值、报警；支持模拟量、RS485 数字通讯读写参数。
特点：直测质量流量，不需要温压补偿；低压损设计，适合低压气源工况tw.azbil.c...。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 阀门形式 | 比例电磁阀，断电常闭 N.C. |
| 流路材质 | SUS316 不锈钢 |
| 密封圈 | FKM 氟橡胶 / EPDM 三元乙丙可选 |
| 精度（小流量型号：9200‑0020） | ±1%SP（15‑100%FS）；±0.15%FS（1‑15%FS） |
| 精度（大流量 0050J/K、0200、0500） | ±1.5%SP（30‑100%FS）；±0.45%FS（＜30%FS） |
| 重复性 | ±0.25% SP（小流量）；±0.375% SP（大流量） |
| 控制范围 | 1～100% FS（宽量程比 100:1） |
| 动作差压 | 50‑300 kPa（随型号不同下限有差异） |
| 最高耐压 | 1 MPa（表压） |
| 工作温度 | -10～+60 ℃ |
| 电源 | DC24 V，最大 300 mA |
| 模拟 I/O | 0‑5V / 1‑5V / 4‑20 mA 可切换 |
| 通讯 | RS‑485 Modbus‑RTU、USB（调试） |
| 防护等级 | IP40 |
| 重量 | 约 1.2 kg |
| 兼容气体 | N₂、Air、O₂、Ar、CO₂、甲烷、丙烷、丁烷、城市燃气等；混合气体可自定义系数 |
高速响应：小量程 0.3 s 达到设定值 ±2% FS；50L/min 以上大量程 0.7 sAzbil Corp...。
低压损：直顺流路，低差压即可工作，适合渗碳炉等低压富碳气体控制。
人机友好：96×96 点阵 LCD，多色 LED 状态指示灯；显示画面 4 方向旋转；一体 / 分离显示两种结构。
电气隔离：电源回路与 I/O 隔离，多台并联 PLC 模拟输出不易串扰故障。
内置功能：8 组预设流量 SP0‑SP7、EV2 定量填充功能、多点现场校正、报警诊断。
热处理行业：气体渗碳炉、回火炉，富碳气体、保护气（N₂、丙烷）流量精准控制，稳定炉内碳势 CP 值。
热加工：火焰钎焊、燃烧炉、气体切割，火焰快速切换、火焰稳定。
电子陶瓷：MLCC 陶瓷烧结炉，气氛保护供气。
实验室与研发：混合气配比、实验供气、气体定量填充。
化工、锂电：工艺保护气、吹扫气、反应气体配比控制。
食品烘焙：可控气氛烘烤。
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