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| 品牌 | AZBIL/日本山武 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
山武AZBIL 数字热式气体质量流量控制器 MFC
MQV 是 azbil工业通用型 MFC，F4Q 为 MQV 的升级换代型号；MQV 采用 μF‑Micro Flow 微流量热传感芯片，一体显示 B / 分离显示 C 两种结构，SUS316 流路，DC24V 供电，模拟量 + RS485 通讯，低压损、宽量程比 100:1。
| 型号 | 满量程 FS | 控制范围 | 典型响应时间 |
|---|---|---|---|
| MQV9005 | 5 mL/min | 1‑100%FS | 0.5 s |
| MQV9020 | 20 mL/min | 1‑100%FS | 0.5 s |
| MQV9200 | 0.2 L/min(200 mL) | 1‑100%FS | 0.3 s |
| MQV9500 | 0.5 L/min(500 mL) | 1‑100%FS | 0.3 s |
| MQV0002 | 2 L/min | 1‑100%FS | 0.3 s |
| MQV0005 | 5 L/min | 1‑100%FS | 0.3 s |
| MQV0010 | 10 L/min | 1‑100%FS | 0.3 s |
| MQV0020 | 20 L/min | 1‑100%FS | 0.3 s |
| MQV0050(J/K) | 50 L/min | 1‑100%FS | 0.7 s |
| MQV0200(J/K) | 200 L/min | 1‑100%FS | 0.7 s |
| MQV0500(J/K) | 500 L/min | 1‑100%FS | 0.7 s |
| MQV1000(J/K) | 1000 L/min | 1‑100%FS | 0.7 s |
型号后缀编码含义
B：一体显示；C：分离显示（配 2m 专用线缆，表头外置）
J/K：大流量阀体版本
S：EPDM 密封圈；T：FKM 氟橡胶密封圈
N1：RS‑485 Modbus‑RTU / CPL 协议
Rc1/4、Rc1/2、1/4 卡套、VCR 接头可选
气体版本：标准气体、氨 / 乙炔专用、氢气 / 氦气专用型号Azbil Nort...
μF Micro‑Flow 微型热式质量传感 + 比例电磁阀 PID 闭环控制Azbil Corp...
测量单元：传感芯片内置上游、下游测温电阻；气体流过带走热量，上下游产生温差；温差大小正比于气体质量流量，直接输出质量流量，无需温压补偿。
控制单元：内置断电常闭比例电磁阀；控制器对比设定值 SP 与实测流量 PV，数字 PID 实时调节阀门开度，稳定输出目标流量。
数字化处理：内置多组气体转换系数；面板按键设置参数；支持模拟 I/O、RS485 读写、流量累计、8 组预设 SP、报警输出。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 阀门类型 | 比例电磁阀，断电常闭 N.C. |
| 流路材质 | SUS316 不锈钢 |
| 密封圈 | FKM 氟橡胶 / EPDM 三元乙丙可选 |
| 精度小流量 (9005‑0020) | ±0.5%FS（0‑50%FS）；±1.0%FS（50‑100%FS） |
| 精度大流量 (0050‑1000) | ±0.5%FS（0‑40%FS）；±1.0%FS（40‑80%FS）；±1.5%FS（80‑100%FS）Azbil Nort... |
| 重复性 | ±0.25%FS typ. |
| 量程比 | 100:1（1‑100% FS 可控） |
| 最小动作差压 | ≤50 kPa，低压损设计 |
| 最高耐压 | 1 MPa（表压） |
| 工作温度 | -10～+60℃；MQV0500 上限 50℃ |
| 供电 | DC24V，最大 300mA |
| 模拟 I/O | 0‑5V /1‑5V /0‑20mA /4‑20mA 软件切换 |
| 通讯 | RS‑485 Modbus‑RTU / CPL；USB 调试口 |
| 电气隔离 | 电源与模拟输入输出隔离，多台并联无串扰Azbil Corp... |
| 防护等级 | IP40 |
| 功能 | 流量累计、8 组预设流量 SP、SP 斜坡缓启动、外部输入切换量程 / 气体、事件报警输出、阀门强制开关 |
| 兼容气体 | N₂、Air、Ar、O₂、CO₂、甲烷、丙烷、城市燃气；可选氨气、乙炔、氢气、氦气专用型号Azbil Nort... |
低压差工作：zui低 50kPa 差压即可正常控制，适合燃烧炉、热处理低压气源工况。
一体 / 分离显示：分离型适合狭小柜体安装，表头外置操作；屏幕支持旋转。
丰富内置功能：流量累积计量、定量供气、缓启动，防止气流冲击。
电气隔离：多路 MFC 共用电源，PLC 模拟模块无需额外隔离模块。
多气体适配：硬件版本区分普通、腐蚀气体、氢氦特种气体。
热处理行业：渗碳炉、淬火炉、回火炉；N₂、丙烷、丁烷、富碳气氛控制，炉内碳势控制。
燃烧热工设备：燃气燃烧器、火焰钎焊炉，燃气‑助燃气配比。
陶瓷电子：MLCC 烧结、粉末冶金烧结，保护气氛供气。
化工实验室：气体配比、反应工艺气、吹扫、定量配气。
锂电、新材料：烧结气氛、惰性保护气控制。
特种工况：氨气、乙炔、氢气工艺（需要选对应专用密封圈 / 型号）。
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