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| 品牌 | AZBIL/日本山武 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
表格
| 型号 | 满量程 FS | 控制范围 | 典型响应时间 |
|---|---|---|---|
| F4H9050 | 50 mL/min | 1‑100%FS | 0.3 s |
| F4H9200 | 200 mL/min | 1‑100%FS | 0.3 s |
| F4H9500 | 500 mL/min | 1‑100%FS | 0.3 s |
| F4H0002 | 2 L/min | 1‑100%FS | 0.3 s |
| F4H0005 | 5 L/min | 1‑100%FS | 0.3 s |
| F4H0020 | 20 L/min | 1‑100%FS | 0.3 s |
型号后缀编码释义
6：SUS316 流路；6U：SUS316 禁油氧气版本
J：1/4 卡套接头；T：Rc1/4 螺纹；V：VCR 接头
2：RS‑485 CPL 协议；3：RS‑485 Modbus‑RTU
0：FKM 氟橡胶密封圈；S：EPDM 密封圈（氨、乙炔）
注意：F4H 无一体 / 分离显示 B/C 版本，本体不带显示屏，全部依靠上位通讯调试、监控
μF‑Micro‑Flow 微型热式传感芯片 + 比例电磁阀 PID 闭环控制
测量单元：硅基微加工热传感，加热器上下游测温电阻；气体流动带走热量产生温差，温差对应质量流量，直接测量质量流量，不需要温压补偿。
控制单元：内置断电常闭 N.C 比例电磁阀；控制器对比设定 SP 与实测 PV，数字 PID 快速调节阀门开度，稳定输出目标流量。
数字化处理：内置多气体转换系数；流量读取、参数设置、零点校准、报警全部通过模拟量或 RS‑485 通讯完成；无本地按键屏幕，需 PC 工具或 PLC 操作。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 阀门形式 | 比例电磁阀，断电常闭 N.C. |
| 接气材质 | SUS316 不锈钢；可选氧气禁油处理 |
| 密封圈 | FKM 氟橡胶 / EPDM 三元乙丙可选 |
| 控制精度 | ±1%SP（15‑100%FS）；±0.15%FS（1‑15%FS） |
| 重复性 | ±0.2%FS typ. |
| 量程比 | 100:1（1‑100% FS 可控） |
| 动作差压 | 50‑300 kPa（F4H0020 为 100‑300kPa） |
| 最高耐压 | 1 MPa（表压） |
| 工作环境温度 | -10～+50℃；F4H0020：‑10～+40℃ |
| 供电 | DC24V，最大 300mA |
| 模拟 I/O | 0‑5V 出厂；通讯可切换 1‑5V、4‑20mA |
| 通讯 | RS‑485（Modbus‑RTU / CPL 二选一）、USB 调试口 |
| 电气隔离 | 电源回路与信号回路隔离，抗干扰强 |
| 输出信号 | 1 点开集电极报警输出 |
| 泄漏率 | He 检漏 ≤1×10⁻⁸ Pa・m²/s |
| 外形尺寸 | W28 × H100 × D85 mm；重量约 0.45 kg |
| 兼容气体 | N₂、Air、Ar、O₂、CO₂、H₂、He、丙烷、甲烷；可选氨气、乙炔专用密封圈版本 |
超紧凑体积：体积为传统 MQV/F4Q 的 50%，适合设备内部狭小空间嵌入安装Azbil Corp...。
高速响应：0.3s 达到设定值 ±2% FS，超调小。
无本地显示：全部参数、监控依靠上位 PLC/PC 软件，适合整机设备集成，不适合现场人工频繁操作。
强抗干扰：电源‑信号电气隔离，多台并联不易干扰。
IoT 数字化：支持故障诊断、流量监视、报警上送，可接入网关对接 PLC。
丰富接口：卡套、Rc 螺纹、VCR 多种接头，半导体可选用 VCR 版本。
半导体 / 真空设备：PVD、刻蚀、小型腔体，Ar/N₂/O₂工艺气、吹扫气控制。
实验设备、分析仪：气体配比仪、气体发生装置、实验室反应设备内置 MFC。
小型热处理设备：小型烧结炉、微型气氛炉，保护气、少量燃气控制。
燃料电池、新材料：小流量工艺气、氢气、氦气配比。
医疗设备、环境设备：精密配气、标准气体发生装置。
自动化整机设备 OEM 集成：设备内部嵌入，不预留人工操作面板。
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