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| 品牌 | AZBIL/日本山武 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本山武AZBIL 盘装式质量流量控制器MPC 是48×48mm 标准 DIN 盘装开孔MFC，把流量传感、比例阀、显示操作全部集成在盘面仪表壳体；直接嵌入控制柜面板，气路从柜体后方接入，前面板操作显示，替代传统转子流量计（浮子流量计）。
定位：小流量盘装一体化 MFC；量程最大 20L/min；区别：MQV/F4Q 整机管路在外部；F4H 本体无面板；MPC 是盘面嵌装，气路后置。
表格
| 型号 | 满量程 FS | 可控范围 | 典型响应时间 |
|---|---|---|---|
| MPC9500 | 0.5 L/min（500 mL/min） | 1‑100%FS | ≤1s |
| MPC0002 | 2 L/min | 1‑100%FS | ≤1s |
| MPC0005 | 5 L/min | 1‑100%FS | ≤1s |
| MPC0020 | 20 L/min | 1‑100%FS | ≤1s |
没有大于 20L/min 型号；大于 20L/min 选用 F4Q/MQV。
型号后缀编码释义
B：黄铜镀镍流路（标准）；6：SUS316 不锈钢流路（腐蚀气体）
R：Rc1/8 内螺纹（标配接头）
R：模拟 I/O；N：RS‑485 CPL 通讯；支持事件报警输出
密封圈：FKM 氟橡胶（标准）；EPDM 可选用于氨、乙炔
开孔尺寸：48×48mm；适配面板厚度 2‑7mm；重量约 300g。
μF‑Micro‑Flow 微热式传感 + 微型比例电磁阀 PID 闭环控制
测量单元：微型热式 MEMS 传感芯片；气体流过带走热量，上下游测温电阻产生温差，直接输出质量流量，无需外部温压补偿，不受气源温度压力波动影响。
控制单元：本体后方集成微型断电常闭 (N.C.) 比例电磁阀；对比设定 SP 与实测 PV，数字 PID 调节阀门开度，稳定输出目标流量。
人机 & 通讯：前面板双行数码管，PV 实际流量 / SP 设定流量同时显示；按键本地设置；也可模拟量 0‑5V / RS‑485 远程读写参数。
结构特点：电气 + 气路全部在面板后方，仅显示操作部分露在柜体正面。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 阀门形式 | 微型比例电磁阀，断电常闭 N.C. |
| 流路材质 | 黄铜镀镍（标准）；可选 SUS316 不锈钢 |
| 密封圈 | FKM 氟橡胶；EPDM 可选 |
| 精度 | ±2%FS |
| 重复性 | ±0.5%FS typ. |
| 量程比 | 100:1（1‑100% FS 可控） |
| 动作差压 | 50‑300 kPa |
| 最高耐压 | 0.5 MPa（表压） |
| 工作温度 | 0～+50℃ |
| 供电 | DC24V，最大 300mA |
| 模拟 I/O | 0‑5V 输入输出 |
| 通讯 | RS‑485 CPL 协议（Modbus‑RTU 不支持）、调试 Loader 口 |
| 输出 | 开路集电极报警、OK 状态输出 |
| 面板开孔 | 48×48 mm；本体深度 73.7 mm |
| 接口 | Rc1/8 螺纹 |
| 兼容气体 | N₂、Air、Ar、CO₂；可选氧气、城市燃气；SUS 版本适配弱腐蚀气体 |
| 内置功能 | 8 组预设 SP、缓启动、流量累计、报警输出、气体参数切换 |
标准 DIN48 盘装安装，直接替换浮子流量计，柜体前面操作，不用开门接触气路；改造旧设备非常方便。
整机高度集成：传感器、控制阀、显示、操作按键一体化，不需要分开 MFC + 外置显示表。
体积重量小，整机仅 300g，节省控制柜空间。
支持本地按键设定、模拟量远程设定、RS‑485 通讯设定三种方式。
自带流量累计、缓启动，防止气流冲击；报警、流量 OK 接点输出方便联锁 PLC。
局限：①最大仅 20L/min；②精度 ±2% FS，低于 F4H/F4Q (±1% SP)；③RS‑485 只支持 CPL 私有协议，无 Modbus‑RTU；④标准流路黄铜，腐蚀性气体要选 SUS316 版本。
控制柜内置小流量气氛控制：小型热处理炉、回火炉，保护气、吹扫气，替换转子流量计。
实验室设备、气体配比装置，分析仪、气体发生设备，柜体面板直观查看流量。
燃烧设备：小流量燃气、助燃气体配比控制。
锂电、陶瓷小型烧结设备：N₂、Ar 保护气控制。
OEM 整机设备：设备控制柜面板集成，方便操作人员现场读取修改流量。
改造项目：原有浮子流量计升级为自动闭环 MFC，柜体开孔不变。
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