简要描述：现货！日本 FLUORO 福乐防静电真空螺旋管线
深圳仓现货直发｜851‑L 为 FLUORO 真空吸笔配套**ESD 防静电螺旋真空软管**，是 C002、C003、F002 系列大负载晶圆吸笔专用连接管路，全程静电导通，伸缩螺旋结构，低析出，适配半导体无尘车间，连接真空泵与真空吸笔使用。

现货！日本 FLUORO 福乐防静电真空螺旋管线

现货！日本 FLUORO 福乐防静电真空螺旋管线

深圳仓现货直发｜851‑L 为 FLUORO 真空吸笔配套ESD 防静电螺旋真空软管，是 C002、C003、F002 系列大负载晶圆吸笔专用连接管路，全程静电导通，伸缩螺旋结构，低析出，适配半导体无尘车间，连接真空泵与真空吸笔使用。

型号释义

• 851：螺旋卷盘式防静电真空软管系列

• ‑L：大规格款，内径 4mm、外径 6mm，通气流量大，适配 8 英寸及以上晶圆搬运工况；对应小规格为 851‑M（内径 3mm，外径 5mm）。

核心技术参数

表格

工作原理

851‑L 作为中间连接管路，一端接 FLUORO 真空泵，另一端接真空吸笔接头，搭建负压通路：

1. 管路内部导电材质形成连续导电通路，把吸笔端产生的静电顺着管线导出，避免静电积蓄放电击穿晶圆、芯片器件，实现整套拾取系统 ESD 防护。

2. 螺旋弹簧结构，作业时可自由拉伸，人员手持吸笔移动作业不受线缆拉扯束缚，松手后自动回缩，产线台面整洁。

3. 管路导通真空泵负压，稳定输送真空负压给到吸笔，大内径保障大尺寸晶圆吸附时充足通气流量，负压稳定不衰减。

产品核心优势

1. 全链路防静电：管壁整体导电，不是表面涂层，不会因磨损丧失防静电性能，整套真空系统静电连续泄放，杜绝静电火花风险，适配敏感器件作业。

2. 螺旋伸缩设计：可拉伸至 1 米，闲置自动卷回，避免普通软管缠绕绊线，适合工位人员来回移动操作。

3. 大内径大通量：L 规格 4mm 内径，通气量大，针对 8‑12 英寸较重晶圆搬运，负压损耗小，吸附力稳定，不会出现吸力不足现象。

4. 耐温耐老化：聚氨酯材质，宽温域稳定，抗弯折，反复伸缩不易开裂漏气，低微粒析出，满足无尘车间要求。

5. 即插即用：两端自带标准接头，直接对接福乐原厂真空泵与吸笔，无需额外加工，拆装便捷。

主要运用场景

1. 半导体无尘产线：搭配 C002、C003、F002 真空吸笔，用于 6‑12 寸硅晶圆、碳化硅晶圆手动拾取转运，探针台、研磨、划片工序工位使用。

2. 芯片封装测试：BGA、MEMS、大尺寸基板拾取工位，构建完整防静电真空拾取管路。

3. 光学行业：大尺寸光学玻璃基板、滤光片无尘搬运设备配套。

4. 实验室场景：半导体实验室真空泵‑真空吸笔整套系统配套管线。