简要描述：现货！FLUORO福乐91‑CP导电PEEK晶圆吸嘴
深圳仓现货直发｜91‑CP 为 C 系列真空吸笔专用**Y 型固定式晶圆吸嘴**，适配 6 英寸（150mm）硅晶圆，ESD 防静电、镜面抛光低发尘，消耗件可直接替换，适配 C002、C003 系列真空吸笔本体，半导体无尘室专用配件。

现货！FLUORO福乐91‑CP导电PEEK晶圆吸嘴

现货！FLUORO福乐91‑CP导电PEEK晶圆吸嘴

现货｜日本 FLUORO 福乐 91‑CP 导电 PEEK 晶圆吸嘴

深圳仓现货｜91‑CP 为 C 系列真空吸笔专用Y 型固定式晶圆吸嘴，适配 6 英寸（150mm）硅晶圆，ESD 防静电、镜面抛光低发尘，消耗件可直接替换，适配 C002、C003 系列真空吸笔本体，半导体无尘室专用配件。

型号释义

• 91：吸嘴本体编号，Y 型固定底座，专用于 6 英寸整片晶圆吸附

• ‑CP：Conductive PEEK 导电 PEEK 材质，实现防静电功能，干式无尘工况使用

核心技术参数

项目

规格参数

产品名称	晶圆真空吸嘴（吸笔头）
型号	91‑CP
适配晶圆	6 英寸 (150mm) 硅晶圆、碳化硅晶圆、玻璃基板
材质	导电 PEEK（碳填充），接触面镜面抛光处理
表面电阻率	10⁶‑10⁸ Ω，满足 ESD 防静电标准
接口形式	Y 固定式接头，匹配 C002‑Y / C003‑Y 笔身，不可旋转
外形尺寸	T:3mm，W:26mm，L1:33mm，L2:89mm
适用环境	Class10‑1000 洁净室，仅限干式环境，不适合药液浸泡
适配吸笔本体	FLUORO C002‑Y、C003‑Y 系列真空吸笔
备注	耗材配件，不含吸笔笔身、真空泵、真空软管

工作原理

91‑CP 是真空吸笔前端执行吸附的耗材配件，依靠负压完成晶圆拾取：

1. 装配在 C002‑Y/C003‑Y 吸笔前端，真空泵产生负压，负压传导至吸嘴多槽吸附面；

2. 吸嘴平面贴合 6 英寸晶圆背面，多条真空槽均匀分布负压，平稳吸附整片晶圆；

3. 按下吸笔释放按钮，破除真空负压，晶圆平稳脱落释放；

4. 导电 PEEK 材质形成完整导电通路，把晶圆表面静电导出，防止静电击穿器件；

5. 属于快拆模块化配件，磨损、划伤、颗粒污染后直接更换吸嘴，无需更换整套吸笔。

产品核心优势

1. ESD 全通路防静电：碳填充导电 PEEK，非表面涂层，长期使用防静电性能不衰减，规避晶圆静电损伤风险。

2. Y 型固定结构：刚性直柄底座，无旋转间隙，搬运 6 寸晶圆不易晃动偏移，适合探针台、检测工位固定作业。

3. 镜面抛光吸附面：多沟槽真空吸盘设计，吸附受力均匀，不会刮伤晶圆背面、外延层，低颗粒析出，满足无尘制程。

4. 耐磨寿命长：PEEK 材料机械强度高，反复取放不易变形开裂，相比橡胶吸嘴使用寿命更长。

5. 拆装便捷：模块化快拆，现场可快速更换，降低产线维护成本。

主要运用场景

1. 半导体制造：6 英寸硅片、碳化硅衬底手动转运，探针台测试、研磨、划片、贴膜工序上下料，晶圆外观检查取样。

2. 芯片封装测试：6 寸整片晶圆拆解、取样，替代金属镊子，杜绝崩边、划伤、静电损坏。

3. 光电行业：6 英寸光学玻璃基板、滤光片无尘拿取。

4. 科研实验室：半导体实验室 6 寸薄片样品转移。