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现货!FLUORO福乐99-CP导电PEEK晶圆吸嘴

简要描述:现货!FLUORO福乐99-CP导电PEEK晶圆吸嘴
深圳仓现货直发|99‑CP 为Y 固定式大尺寸三爪导电 PEEK 吸嘴,专为 12 英寸(300mm)硅晶圆开发,ESD 防静电、镜面抛光低发尘,消耗配件,适配 C002‑Y、C003‑Y 固定式真空吸笔本体,半导体无尘干式专用。

基础信息

产品型号

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-04

浏览次数

11
详细介绍
品牌FLUORO/日本福乐

现货!FLUORO福乐99-CP导电PEEK晶圆吸嘴

现货!FLUORO福乐99-CP导电PEEK晶圆吸嘴

深圳仓现货直发|99‑CP 为Y 固定式大尺寸三爪导电 PEEK 吸嘴,专为 12 英寸(300mm)硅晶圆开发,ESD 防静电、镜面抛光低发尘,消耗配件,适配 C002‑Y、C003‑Y 固定式真空吸笔本体,半导体无尘干式专用。

型号释义

  • 99:Y 型固定底座,加宽加长三爪吸盘,专门针对 12 英寸大尺寸晶圆,兼顾厚片、超薄翘曲 300mm 晶圆,刚性直柄无旋转关节,重载承载设计。

  • ‑CP:Conductive PEEK,碳填充导电 PEEK 材质,实现 ESD 防静电,仅限干式无尘工况,不可药液浸泡

核心技术参数

表格

项目

规格参数



产品名称

晶圆真空吸嘴(吸笔头)

型号

99‑CP

适配晶圆

12 英寸 (300mm) 硅晶圆、超薄翘曲晶圆、外延片、玻璃基板

材质

导电 PEEK(碳填充),接触面镜面抛光处理

表面电阻率

10⁶‑10⁸ Ω,满足 ESD 防静电标准

接口形式

Y 固定式直柄底座,无旋转,刚性连接

结构特点

大跨度三爪多沟槽吸盘,吸附面积大,负压均匀分散,降低大尺寸薄片压痕、裂片风险

适用洁净等级

Class10‑1000 洁净室,仅限干式,禁止药液浸泡

适配吸笔本体

FLUORO C002‑Y、C003‑Y 固定式系列真空吸笔

备注

耗材配件,不含吸笔笔身、真空泵、真空软管

工作原理

99‑CP 是大尺寸固定式吸笔前端负压吸附耗材,依靠外接真空源完成 12 英寸晶圆拾取:

  1. 装配在 C002‑Y / C003‑Y 吸笔前端,真空泵负压传导至吸嘴大跨度三爪沟槽吸附面;

  2. Y 型刚性直柄,吸嘴贴合 12 英寸晶圆背面,超大吸附接触面把负压均匀分散,平稳吸附整片大尺寸、翘曲超薄晶圆;

  3. 按下吸笔释放按钮,导通大气破除真空,晶圆平稳脱落释放;

  4. 导电 PEEK 构建完整静电泄放通路,疏导晶圆表面积累静电,规避器件静电击穿;

  5. 模块化快拆结构,吸嘴划伤、磨损、颗粒污染后直接更换,无需更换整套吸笔本体。

产品核心优势

  1. ESD 全通路防静电:碳填充导电 PEEK 基材,非表面涂层,长期反复使用防静电性能不衰减,保护 12 寸薄晶圆、外延片。

  2. Y 型刚性重载结构:无万向活动关节,直柄刚性强,12 寸晶圆重量大,搬运过程定位精准、不易晃动偏移,适合台面、探针台、检测工位作业。

  3. 12 寸晶圆专属优化:大跨度三爪吸盘,吸附受力柔和均衡,有效缓解 300mm 薄片翘曲变形带来的局部应力,减少压痕、隐裂、裂片风险;镜面抛光不刮伤晶圆背面、镀膜、外延层,低颗粒析出,满足无尘制程管控。

  4. PEEK 高耐磨寿命:材质韧性强抗形变,对比橡胶吸嘴使用寿命更长,减少配件更换频次。

  5. 拆装维护便捷:现场快速拆装,仅更换吸嘴,降低产线运维成本。

💡选型区分

  • 92‑CP:8 寸标准厚度晶圆,Y 固定;

  • 98‑CP:8 寸超薄 / 翘曲晶圆,Y 固定;

  • 99‑CP:12 英寸 300mm 大晶圆专用,Y 固定重载款

主要运用场景

  1. 半导体制造工序:12 英寸硅片、超薄翘曲晶圆手动转运;探针台测试、研磨、划片、贴膜工序上下料;晶圆外观检查、失效分析取样。

  2. 芯片封装测试:12 寸整片晶圆拆解、取样,替代金属镊子,规避崩边、划伤、静电损伤。

  3. 光电行业:12 英寸大尺寸光学玻璃基板、滤光片无尘拿取。

  4. 科研实验室:半导体实验室 12 寸薄片样品转移,台面检测工位作业。

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