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现货!FLUORO福乐98-CP导电PEEK晶圆吸嘴

简要描述:现货!FLUORO福乐98-CP导电PEEK晶圆吸嘴
深圳仓现货直发|98‑CP 为Y 固定式加长加宽导电 PEEK 吸嘴,专为 8 英寸超薄、翘曲硅晶圆设计,ESD 防静电、镜面抛光低发尘,属于消耗配件,适配 C002‑Y、C003‑Y 固定式真空吸笔本体,半导体无尘干式专用。

基础信息

产品型号

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-04

浏览次数

10
详细介绍
品牌FLUORO/日本福乐

现货!FLUORO福乐98-CP导电PEEK晶圆吸嘴

现货!FLUORO福乐98-CP导电PEEK晶圆吸嘴

深圳仓现货直发|98‑CP 为Y 固定式加长加宽导电 PEEK 吸嘴,专为 8 英寸超薄、翘曲硅晶圆设计,ESD 防静电、镜面抛光低发尘,属于消耗配件,适配 C002‑Y、C003‑Y 固定式真空吸笔本体,半导体无尘干式专用。

型号释义

  • 98:Y 型固定底座,加长加宽三爪吸盘,增大吸附接触面积,针对 8 寸薄晶圆、翘曲晶圆优化,刚性直柄无旋转关节。

  • ‑CP:Conductive PEEK,碳填充导电 PEEK 材质,实现 ESD 防静电,仅限干式无尘工况,不可药液浸泡

核心技术参数

表格

项目

规格参数



产品名称

晶圆真空吸嘴(吸笔头)

型号

98‑CP

适配晶圆

8 英寸 (200mm) 硅晶圆、超薄晶圆、翘曲晶圆、碳化硅晶圆、玻璃基板、外延片

材质

导电 PEEK(碳填充),接触面镜面抛光处理

表面电阻率

10⁶‑10⁸ Ω,满足 ESD 防静电标准

接口形式

Y 固定式直柄底座,无旋转,刚性连接

结构特点

加长加宽三爪多沟槽吸盘,接触面积大,负压均匀,降低薄片压痕、崩边风险

适用洁净等级

Class10‑1000 洁净室,仅限干式,禁止药液浸泡

适配吸笔本体

FLUORO C002‑Y、C003‑Y 固定式系列真空吸笔

备注

耗材配件,不含吸笔笔身、真空泵、真空软管

工作原理

98‑CP 是固定式吸笔前端负压吸附耗材,依靠外接真空源完成 8 英寸晶圆拾取:

  1. 装配在 C002‑Y / C003‑Y 吸笔前端,真空泵负压传导至吸嘴加宽三爪沟槽吸附面;

  2. Y 型刚性直柄,吸嘴贴合 8 英寸晶圆背面,更大接触面积把负压均匀分散,平稳吸附超薄、翘曲整片晶圆;

  3. 按下吸笔释放按钮,导通大气破除真空,晶圆平稳脱落释放;

  4. 导电 PEEK 构建完整静电泄放通路,疏导晶圆表面积累静电,规避器件静电击穿;

  5. 模块化快拆结构,吸嘴划伤、磨损、颗粒污染后直接更换,无需更换整套吸笔本体。

产品核心优势

  1. ESD 全通路防静电:碳填充导电 PEEK 基材,非表面涂层,长期反复使用防静电性能不衰减,保护 8 寸薄晶圆、外延片。

  2. Y 型刚性固定结构:无万向活动关节,直柄刚性强,垂直取放定位精准,搬运较重、翘曲晶圆不易晃动偏移,适合台面、探针台工位作业。

  3. 针对超薄翘曲晶圆优化:加长加宽三爪吸盘,增大吸附接触面,压力分布柔和,大幅减少薄晶圆压痕、隐裂、崩边风险;镜面抛光不刮伤晶圆背面、镀膜、外延层,低颗粒析出,满足无尘制程管控。

  4. PEEK 高耐磨寿命:材质韧性强抗形变,对比橡胶吸嘴使用寿命更长,减少配件更换频次。

  5. 拆装维护便捷:现场快速拆装,仅更换吸嘴,降低产线运维成本。

💡选型区分:同样 8 寸规格

  • 92‑CP:标准 Y 型,适配常规厚度 8 寸硅片;

  • 98‑CP:加宽 Y 型,优先用于超薄、翘曲 8 寸晶圆

  • 97‑CP:X 万向款,用于设备腔体内部多角度取片。

主要运用场景

  1. 半导体制造工序:8 英寸硅片、超薄晶圆、翘曲晶圆、碳化硅衬底手动转运;探针台测试、研磨、划片、贴膜工序上下料;晶圆外观检查、失效分析取样。

  2. 芯片封装测试:8 寸整片晶圆拆解、取样,替代金属镊子,规避崩边、划伤、静电损伤。

  3. 光电行业:8 英寸光学玻璃基板、滤光片无尘拿取。

  4. 科研实验室:半导体实验室 8 寸薄片、翘曲样品转移,台面检测工位作业。

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