




产品型号
厂商性质
更新时间
浏览次数
产品分类
相关文章
| 品牌 | FLUORO/日本福乐 |
|---|
现货!FLUORO福乐98-CP导电PEEK晶圆吸嘴
现货!FLUORO福乐98-CP导电PEEK晶圆吸嘴
深圳仓现货直发|98‑CP 为Y 固定式加长加宽导电 PEEK 吸嘴,专为 8 英寸超薄、翘曲硅晶圆设计,ESD 防静电、镜面抛光低发尘,属于消耗配件,适配 C002‑Y、C003‑Y 固定式真空吸笔本体,半导体无尘干式专用。
型号释义
98:Y 型固定底座,加长加宽三爪吸盘,增大吸附接触面积,针对 8 寸薄晶圆、翘曲晶圆优化,刚性直柄无旋转关节。
‑CP:Conductive PEEK,碳填充导电 PEEK 材质,实现 ESD 防静电,仅限干式无尘工况,不可药液浸泡。
核心技术参数
表格
项目
规格参数
产品名称 | 晶圆真空吸嘴(吸笔头) |
型号 | 98‑CP |
适配晶圆 | 8 英寸 (200mm) 硅晶圆、超薄晶圆、翘曲晶圆、碳化硅晶圆、玻璃基板、外延片 |
材质 | 导电 PEEK(碳填充),接触面镜面抛光处理 |
表面电阻率 | 10⁶‑10⁸ Ω,满足 ESD 防静电标准 |
接口形式 | Y 固定式直柄底座,无旋转,刚性连接 |
结构特点 | 加长加宽三爪多沟槽吸盘,接触面积大,负压均匀,降低薄片压痕、崩边风险 |
适用洁净等级 | Class10‑1000 洁净室,仅限干式,禁止药液浸泡 |
适配吸笔本体 | FLUORO C002‑Y、C003‑Y 固定式系列真空吸笔 |
备注 | 耗材配件,不含吸笔笔身、真空泵、真空软管 |
工作原理
98‑CP 是固定式吸笔前端负压吸附耗材,依靠外接真空源完成 8 英寸晶圆拾取:
装配在 C002‑Y / C003‑Y 吸笔前端,真空泵负压传导至吸嘴加宽三爪沟槽吸附面;
Y 型刚性直柄,吸嘴贴合 8 英寸晶圆背面,更大接触面积把负压均匀分散,平稳吸附超薄、翘曲整片晶圆;
按下吸笔释放按钮,导通大气破除真空,晶圆平稳脱落释放;
导电 PEEK 构建完整静电泄放通路,疏导晶圆表面积累静电,规避器件静电击穿;
模块化快拆结构,吸嘴划伤、磨损、颗粒污染后直接更换,无需更换整套吸笔本体。
产品核心优势
ESD 全通路防静电:碳填充导电 PEEK 基材,非表面涂层,长期反复使用防静电性能不衰减,保护 8 寸薄晶圆、外延片。
Y 型刚性固定结构:无万向活动关节,直柄刚性强,垂直取放定位精准,搬运较重、翘曲晶圆不易晃动偏移,适合台面、探针台工位作业。
针对超薄翘曲晶圆优化:加长加宽三爪吸盘,增大吸附接触面,压力分布柔和,大幅减少薄晶圆压痕、隐裂、崩边风险;镜面抛光不刮伤晶圆背面、镀膜、外延层,低颗粒析出,满足无尘制程管控。
PEEK 高耐磨寿命:材质韧性强抗形变,对比橡胶吸嘴使用寿命更长,减少配件更换频次。
拆装维护便捷:现场快速拆装,仅更换吸嘴,降低产线运维成本。
💡选型区分:同样 8 寸规格
92‑CP:标准 Y 型,适配常规厚度 8 寸硅片;
98‑CP:加宽 Y 型,优先用于超薄、翘曲 8 寸晶圆;
97‑CP:X 万向款,用于设备腔体内部多角度取片。
主要运用场景
半导体制造工序:8 英寸硅片、超薄晶圆、翘曲晶圆、碳化硅衬底手动转运;探针台测试、研磨、划片、贴膜工序上下料;晶圆外观检查、失效分析取样。
芯片封装测试:8 寸整片晶圆拆解、取样,替代金属镊子,规避崩边、划伤、静电损伤。
光电行业:8 英寸光学玻璃基板、滤光片无尘拿取。
科研实验室:半导体实验室 8 寸薄片、翘曲样品转移,台面检测工位作业。