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| 品牌 | FLUORO/日本福乐 |
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现货!FLUORO福乐M100-150手动晶圆机械镊子
现货!FLUORO福乐M100-150手动晶圆机械镊子
深圳仓现货直发|M100 为纯机械外缘夹持晶圆镊子,无需真空泵、无需气管,PEEK 一体成型,无金属铆钉、无胶水,半导体干式无尘室专用,仅夹持晶圆边缘,保护晶圆正反面功能面。
型号释义
M100:基础款直压式晶圆夹,靠手捏压力夹持,无锁止机构;后缀数字代表适配晶圆尺寸
M100‑100:4 英寸 (100mm)
M100‑125:5 英寸 (125mm)
M100‑150:6 英寸 (150mm)
M100‑200:8 英寸 (200mm)
M100‑300:12 英寸 (300mm)
带‑L 后缀(M100‑XXXL):杠杆棘轮锁止款,捏合后可以锁死,手松开也保持夹紧,解放双手。
E100 系列:导电 PEEK 防静电版本,对应 M100 的防静电款。
核心技术参数
表格
项目
规格参数
产品名称 | 晶圆机械镊子(晶片夹) |
型号 | M100‑100/125/150/200/300(‑L 带锁止) |
主体材质 | PEEK(标准款);导电 PEEK(E100 防静电款) |
表面电阻率 (E100) | 10⁶‑10⁸Ω,ESD 防静电 |
耐温 | 连续 130℃,可短时间拿取冷却后高温晶圆 |
夹持方式 | 两点外缘夹持,只接触晶圆侧边,不碰晶圆正反面 |
结构特点 | 一体式成型,无金属件、无粘接胶水,杜绝金属离子析出污染;端头带限位挡块,防止晶圆滑脱;接触面光学抛光处理 |
适用环境 | Class10‑1000 无尘室,仅限干式,禁止药液浸泡 |
备注 | 纯机械工具,不需要真空泵、软管、吸嘴 |
工作原理
M100 属于机械式晶圆夹持工具,不依靠真空负压;手捏手柄,前端夹口张开,卡入晶圆外缘。
松开手,依靠 PEEK 本体回弹夹紧晶圆侧边,仅两点接触晶圆边缘,晶圆正反面不受触碰。
‑L 杠杆锁止款:捏到位后棘轮机构锁死,松手依旧保持夹持;按压解锁按键才可以松开晶圆,适合短距离转运、临时拿取放置。
E100 导电款构建静电泄放通路,规避器件静电击穿风险。
产品核心优势
无污染风险:整体 PEEK 一体成型,无铆钉、无胶水,不会析出金属离子、有机物污染晶圆。
只夹持边缘:避开晶圆正面电路、外延层,光学抛光接触面,减少崩边、划伤、微粒产生。
无需气源:不用真空泵、气管,机台应急取样、实验室快速拿取非常便捷。
耐高温:最高连续耐受 130℃,可拿取降温后的热处理晶圆。
两个版本可选:普通 PEEK 绝缘款 / E100 导电 PEEK 防静电款;普通款、带锁‑L 款按需选择。
💡选型区分
M100‑XXX:普通直压款,手必须一直捏住,松手即松开;适合短时拿取。
M100‑XXXL:杠杆棘轮锁止,锁上后手可以松开,适合转运周转。
E100‑XXX / E100‑XXXL:导电防静电版本,静电敏感晶圆、SiC 优先选用。
对比真空吸笔:M100 机械镊子适合边缘夹持;C002/C003 真空吸笔是背面真空吸附,两种工具场景互补。
主要运用场景
半导体工序:硅晶圆、碳化硅 SiC 衬底、化合物半导体基板,热处理后取样、机台应急取片、实验室失效分析、检测工位。
光电行业:玻璃基板、石英薄片、光学基板干式拿取。
科研实验室:4‑12 英寸各类薄片样品,无气源条件下快速取放。