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现货!FLUORO福乐M100-150手动晶圆机械镊子

简要描述:现货!FLUORO福乐M100-150手动晶圆机械镊子
深圳仓现货直发|M100 为**纯机械外缘夹持晶圆镊子**,无需真空泵、无需气管,PEEK 一体成型,无金属铆钉、无胶水,半导体干式无尘室专用,仅夹持晶圆边缘,保护晶圆正反面功能面

基础信息

产品型号

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-04

浏览次数

10
详细介绍
品牌FLUORO/日本福乐

现货!FLUORO福乐M100-150手动晶圆机械镊子

现货!FLUORO福乐M100-150手动晶圆机械镊子

深圳仓现货直发|M100 为纯机械外缘夹持晶圆镊子,无需真空泵、无需气管,PEEK 一体成型,无金属铆钉、无胶水,半导体干式无尘室专用,仅夹持晶圆边缘,保护晶圆正反面功能面。

型号释义

  • M100:基础款直压式晶圆夹,靠手捏压力夹持,无锁止机构;后缀数字代表适配晶圆尺寸

    • M100‑100:4 英寸 (100mm)

    • M100‑125:5 英寸 (125mm)

    • M100‑150:6 英寸 (150mm)

    • M100‑200:8 英寸 (200mm)

    • M100‑300:12 英寸 (300mm)

  • 带‑L 后缀(M100‑XXXL):杠杆棘轮锁止款,捏合后可以锁死,手松开也保持夹紧,解放双手。

  • E100 系列:导电 PEEK 防静电版本,对应 M100 的防静电款。

核心技术参数

表格

项目

规格参数



产品名称

晶圆机械镊子(晶片夹)

型号

M100‑100/125/150/200/300(‑L 带锁止)

主体材质

PEEK(标准款);导电 PEEK(E100 防静电款)

表面电阻率 (E100)

10⁶‑10⁸Ω,ESD 防静电

耐温

连续 130℃,可短时间拿取冷却后高温晶圆

夹持方式

两点外缘夹持,只接触晶圆侧边,不碰晶圆正反面

结构特点

一体式成型,无金属件、无粘接胶水,杜绝金属离子析出污染;端头带限位挡块,防止晶圆滑脱;接触面光学抛光处理

适用环境

Class10‑1000 无尘室,仅限干式,禁止药液浸泡

备注

纯机械工具,不需要真空泵、软管、吸嘴

工作原理

  1. M100 属于机械式晶圆夹持工具,不依靠真空负压;手捏手柄,前端夹口张开,卡入晶圆外缘。

  2. 松开手,依靠 PEEK 本体回弹夹紧晶圆侧边,仅两点接触晶圆边缘,晶圆正反面不受触碰。

  3. ‑L 杠杆锁止款:捏到位后棘轮机构锁死,松手依旧保持夹持;按压解锁按键才可以松开晶圆,适合短距离转运、临时拿取放置。

  4. E100 导电款构建静电泄放通路,规避器件静电击穿风险。

产品核心优势

  1. 无污染风险:整体 PEEK 一体成型,无铆钉、无胶水,不会析出金属离子、有机物污染晶圆。

  2. 只夹持边缘:避开晶圆正面电路、外延层,光学抛光接触面,减少崩边、划伤、微粒产生。

  3. 无需气源:不用真空泵、气管,机台应急取样、实验室快速拿取非常便捷。

  4. 耐高温:最高连续耐受 130℃,可拿取降温后的热处理晶圆。

  5. 两个版本可选:普通 PEEK 绝缘款 / E100 导电 PEEK 防静电款;普通款、带锁‑L 款按需选择。

💡选型区分

  • M100‑XXX:普通直压款,手必须一直捏住,松手即松开;适合短时拿取。

  • M100‑XXXL:杠杆棘轮锁止,锁上后手可以松开,适合转运周转。

  • E100‑XXX / E100‑XXXL:导电防静电版本,静电敏感晶圆、SiC 优先选用。

对比真空吸笔:M100 机械镊子适合边缘夹持;C002/C003 真空吸笔是背面真空吸附,两种工具场景互补。

主要运用场景

  1. 半导体工序:硅晶圆、碳化硅 SiC 衬底、化合物半导体基板,热处理后取样、机台应急取片、实验室失效分析、检测工位。

  2. 光电行业:玻璃基板、石英薄片、光学基板干式拿取。

  3. 科研实验室:4‑12 英寸各类薄片样品,无气源条件下快速取放。


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