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| 品牌 | JIKCO/吉高 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
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JKO-AS3-G 是日本 JIKCO(吉高)JKO-A Ver.3 系列升级款便携式氧气监测主机,玉崎半导体深圳仓常备原装现货,原厂整机进口,批次资料齐全,可提供原厂品质保障与配套技术支持。该机型与 SOX-M1 氧传感器配套使用,是半导体腔体、手套箱、惰性气氛管路残氧监测的便携巡检核心设备,适配晶圆厂、设备整机厂的设备调试、腔体检漏、日常维保场景。无需漫长海外订货周期,可快速交付,缩短产线设备停机等待时间。玉崎可配套提供整机、替换传感器 SOX-M1,同时提供参数设定、校准指导、故障排查等一站式技术服务。
全量程氧气检测,精度可靠,测量范围 0~100vol% O₂;0~25% 区间测量精度 ±0.5%,高浓度段 25.1~100% 精度 ±3.0%,分辨率 0.1%,90% 响应时间≤20 秒,低氧、高氧工况均可稳定监测京都玉崎。
自动大气校正 + 内置气压补偿,无需频繁手动手动标定;内置气压传感器,可抵消气压波动带来的读数漂移,规避台风、气压变化造成的误报警,大幅降低现场维护工作量京都玉崎。
长寿命伽伐尼氧传感器,内置 SOX-M1 同系列原电池传感器,大气环境预期寿命约 3 年,减少传感器更换频次;主机搭载维护提醒功能,到期自动提示传感器检修更换。
两级独立报警设置,高低氧阈值可自定义,声光双报警:电子蜂鸣器 + 双红色 LED 闪烁;支持报警音开关,可切换静音仅读数模式,适配洁净车间安静作业环境。配备 0~1V 模拟量输出 + 继电器无电压接点输出,可对接 PLC、上位机做远程信号采集与联动控制京都玉崎。
便携轻量化设计,整机尺寸 82×38×145mm,重量约 300g;4 节 AA 碱性电池供电,无报警、无模拟输出工况下续航可达 1 年,适合现场巡检、腔体临时检测;工作环境 - 10~+40℃,5~95% RH(无凝露),适配半导体洁净车间、密闭腔体、惰性气体保护舱等工况。
JKO-AS3-G 搭载伽伐尼电池式(原电池)氧气传感器,核心传感单元即为 SOX-M1 氧传感器。氧气经透气膜进入传感器内部,在电极与电解液体系中发生氧化还原反应,产生与氧气浓度成正比的微弱电流信号;主机采集电流信号,结合内置气压传感器做压力补偿,再经自动大气校正算法运算,最终在 LCD 屏幕输出实时氧浓度数值。当检测氧浓度超出预设上下限,主机立即触发蜂鸣器与 LED 报警,同时输出继电器接点信号与模拟量信号,实现本地预警 + 后端系统联动。在半导体场景,多用于检测氮气吹扫腔体、手套箱内部残氧,快速判断气氛是否达标,预警氧超标,防止晶圆氧化、工艺污染,是刻蚀、沉积、外延等无氧工艺的现场巡检仪表。
半导体工艺对腔体氧含量管控严苛,微小氧残留就会造成晶圆良率损失。JKO-AS3-G 作为便携式氧监测主机,是产线巡检、新机调试、腔体维保的关键检测仪器。玉崎半导体作为 JIKCO 正规代理,实现整机现货 + SOX-M1 传感器备件一体化供应,减少多方采购对接成本;同时提供仪表参数设置、校准指导、传感器更换培训。可配合半导体设备厂商、晶圆工厂完成腔体气氛验收、设备上机验证、日常安全巡检,为惰性气氛工艺稳定运行提供可靠的氧浓度监测方案,助力半导体产线工艺安全管控。