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| 品牌 | JIKCO/吉高 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
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JKO-25S3 是 JIKCO 吉高 JKO-25 Ver.3 系列内置传感器型便携式氧气检测仪,玉崎半导体深圳仓常备原装现货,日本原厂整机进口,批次资料完整可溯源,原厂品质保障。核心传感单元为 SOX-M1 伽伐尼氧传感器,整机与替换传感器均可配套供货,无需漫长海外订货周期,快速响应半导体腔体巡检、设备调试、产线维保的备件需求。玉崎可提供整机选型、一键空气校准指导、传感器更换、故障排查等一站式技术服务,适配晶圆厂、半导体设备整机厂惰性气氛腔体残氧检测场景。
0~100vol% 全量程氧气检测,低氧、高氧均可稳定测量;0~25% 区间精度 ±0.5%,25.1~100% 区间精度 ±3.0%,分辨率 0.1%,T90 响应时间≤20 秒,快速捕捉氧浓度变化,满足半导体氮气置换腔体残氧确认需求。
内置 SOX-M1 长寿命伽伐尼氧传感器,大气环境下预期寿命约 3 年,减少传感器更换频次;支持现场一键 CAL 空气校准,操作简单,无需专业设备。
两级独立报警设定,高低氧阈值可自定义,搭载双红色 LED + 电子蜂鸣器声光报警;支持报警保持 / 自动复位两种模式;配备 0~1V 模拟量输出 + 继电器无源接点输出,可对接 PLC、上位机或外部报警装置。
便携低功耗设计,整机尺寸 82×38×145mm,重量 315g;4 节 AA 碱性电池供电,无报警、无模拟输出工况下可连续使用约 1 年,适合洁净车间现场移动巡检;工作环境 - 10~+40℃,5~85% RH(无凝露)。
大屏 LCD 直观读数,机身小巧易手持,专为密闭腔体、手套箱、氮气保护腔巡检开发,快速验证腔体置换效果,预警氧超标,规避晶圆氧化风险。
JKO-25S3 采用扩散式伽伐尼电池(原电池)检测原理,核心传感元件为 SOX-M1 氧气传感器。环境中的氧气通过仪器前端透气膜进入传感器内部,在电极与电解液体系中发生氧化还原反应,生成与氧气浓度成正比的微弱电流信号;主机采集电流信号并运算处理,直接在 LCD 屏幕实时输出氧浓度数值。当氧浓度超出预设上下限阈值,设备自动触发声光报警,同时输出模拟量与继电器接点信号,实现现场预警与后端系统联动。在半导体行业,多用于 MOCVD 腔体、刻蚀腔、手套箱、样品储存箱的残氧巡检,检测氮气置换后的腔体氧残留,防止微量氧造成外延片、晶圆氧化,保障工艺良率,也用于密闭空间缺氧安全巡检。
半导体前道工艺对腔体氧含量管控严苛,微量氧残留会直接造成薄膜氧化、晶圆报废。JKO-25S3 作为内置传感器款便携氧监测仪,是半导体设备调试、腔体检漏、产线日常气氛巡检的核心检测仪表。玉崎半导体作为 JIKCO 正规代理商,实现 JKO-25S3 整机与 SOX-M1 传感器备件一体化现货供应,缩短交期,降低多方采购沟通成本;同时提供仪器校准、传感器更换、工况选型等技术支持。可服务半导体设备厂商、晶圆制造工厂,完成腔体气氛验收、新机上机验证、产线日常安全巡检,为半导体无氧惰性工艺提供稳定可靠的氧浓度监测方案。