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| 品牌 | JIKCO/吉高 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
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OXY-1M(OXY-1-M)是日本 JIKCO 吉高台式高浓度氧气监测仪,玉崎半导体深圳仓常备原装现货,日本原厂整机进口,资料齐全可溯源,原厂品质保障。机型分为内置传感器款与分体传感器款(OXY-1S-M),分体式可外接延长线缆,适合手套箱、腔体内部远距离测氧。广泛用于半导体惰性气氛腔体、干燥器、手套箱、小型工艺腔的氧浓度在线监测,可与 SOX-M1 传感器配套形成完整氧监测方案。无需漫长海外订货周期,整机、替换传感器均可快速交付,降低产线实验设备停机等待时间。玉崎配套提供选型评估、一键空气校准指导、传感器更换培训、故障排查等一站式技术服务。
全量程 0~100vol% 氧气检测,兼顾低氧与高氧场景;0~25% 区间精度 ±0.5%,25~100% 高氧区间精度 ±3.0%,分辨率 0.1%,90% 响应时间≤15 秒,检测反馈快速稳定。
伽伐尼电池式专用高氧传感器,专为高浓度氧气工况开发,连续使用可达 8800 小时以上,传感器可现场自行更换,无需整机寄回原厂维修,大幅降低维护成本与停机时间。
一键空气校准 CAL 按键,现场简单操作即可完成空气标定,操作门槛低;工作环境 0~40℃,湿度 0~95% RH(无凝露),适配洁净车间、实验室、手套箱等半导体场景。
小巧台式机身,内置型尺寸 88×35.5×55mm,重量仅 140g;2 节 7 号碱性电池供电,续航持久,放置于工作台、设备旁不占用大量空间;分体款可外接约 1.7m 延长线缆,探头伸入密闭腔体内部测量,主机留在外部读取数据。
LCD 大屏直观显示,读数清晰,适合工艺人员实时观察腔体氧含量变化,用于氮气置换效果确认、无氧工艺气氛验证,防止晶圆、外延片氧化污染。
OXY-1M 采用伽伐尼电池式(原电池)氧气传感器原理,属于扩散式采样。氧气通过透气膜进入传感器内部,在传感器内部电极与电解液体系发生氧化还原反应,产生与氧气浓度成正比的微弱电流信号;主机采集电流信号,经过运算处理后,直接在液晶屏输出实时氧浓度数值。该原理不需要外部驱动电源,依靠氧气本身发生电化学反应产生信号,响应快、结构简单稳定。在半导体行业,主要用于手套箱、氮气保护腔体、干燥储存箱的残氧监测,验证腔体氮气置换是否达标,监控气氛波动,避免氧含量超标造成晶圆氧化、薄膜工艺失效,是研发实验室与小型工艺腔体常用的气氛质控仪表。
半导体外延、晶圆存储、样品处理环节,对密闭腔体氧含量管控十分严格,微量氧残留就会造成材料氧化,直接影响良率。OXY-1M 台式氧监测仪是手套箱、小型惰性腔体气氛监测的核心设备。玉崎半导体作为 JIKCO 吉高正规代理商,实现 OXY-1M 整机与替换传感器现货一体化供应,减少多方采购对接成本;同时提供设备选型、现场校准指导、传感器更换技术支持。可配套半导体研发实验室、设备整机厂、晶圆产线,完成腔体气氛验收、样品存储监测、工艺调试,稳定监测密闭空间氧浓度,为半导体无氧工艺提供可靠的气氛监测保障。