简要描述：EBARA 荏原 EV-PA500 风冷无油干式真空泵
EV-PA500 是日本 EBARA 荏原 EV-PA 系列小型轻量化风冷无油干式罗茨真空泵，玉崎半导体深圳仓常备原装现货，日本原厂整机进口，出厂检测报告、资料齐全可溯源，原厂品质保障。

EBARA 荏原 EV-PA500 风冷无油干式真空泵玉崎现货说明

EV-PA500 是日本 EBARA 荏原 EV-PA 系列小型轻量化风冷无油干式罗茨真空泵，玉崎半导体深圳仓常备原装现货，日本原厂整机进口，出厂检测报告、资料齐全可溯源，原厂品质保障。EV-PA500 定位小型洁净真空qian级粗抽泵，适配半导体小型 Load-Lock 腔、晶圆检测设备、等离子清洗、分子泵前级配套；整机、进气过滤器等消耗备件均可配套供货。无需漫长海外订货周期，快速响应半导体设备整机厂、研发实验室、晶圆厂新机配套与维保需求。玉崎可提供选型评估、工况匹配、管路配套、故障排查、备件更换一站式真空技术服务。

EBARA 荏原 EV-PA500 风冷无油干式真空泵 产品特征

1. 无油非接触转子、无返油污染，泵内无齿轮润滑油，转子相互无物理接触，che底杜绝碳氢油返流污染腔体，满足半导体洁净真空要求；密封件免更换，长周期免大修。

2. 风冷结构，无需冷却水，仅接入电源即可运行，消除水冷漏水风险，洁净车间、台式设备集成部署便捷；噪音低至 58dB (A)，振动小，适合实验室与洁净车间。

3. 核心性能参数：标称抽速 500L/min（气镇开启 430L/min）；极限真空 0.5Pa（气镇关闭），气镇开启 2.0Pa；标配内置气镇阀，最大可处理水汽 250g/h，可抽取含少量水汽、可凝性气体；单相 AC100~230V 宽电压供电，50/60Hz 通用；极限真空运行功率仅 0.27kW，节能省电；进气 NW25 法兰；整机尺寸 189×482×272mm，重量仅 21kg，轻巧便携，自带把手，可台式摆放或移动使用。

4. wan善通讯与安全保护，面板本地显示，支持 RS485 通讯、远程启停 I/O、故障报警输出，可对接 PLC 上位机；内置过热、过载保护；满足 SEMI-S2、CE、NRTL 半导体行业安全规范。

5. 维护成本低，常规维护仅定期更换进气过滤器；转子无接触磨损，长期稳定连续 24 小时运行，大幅降低产线停机维护成本。

备注：EV-PA500 适合洁净、轻度水汽工况，不适合强腐蚀工艺尾气；强腐蚀场景可配套氮气吹扫选配组件。

工作原理

EV-PA500 采用无齿轮多级非接触罗茨干式真空原理，无齿轮箱、无齿轮油。电机驱动成对罗茨转子反向旋转，转子之间、转子与泵腔保持微小间隙，无接触、无润滑油。转子旋转持续将腔体内气体从进气侧逐级输送压缩，从排气口排出，快速降低腔体压力，实现粗抽真空。内置气镇阀可导入干燥空气，降低水蒸气在泵腔内部冷凝，避免水汽凝结污染泵体，实现带少量水汽工况稳定抽气。在半导体领域，主要用作分子泵前级粗抽泵，用于小型 Load-Lock、晶圆检测腔体、等离子清洗设备、氦检检漏系统、RGA 残气分析仪配套，快速将腔体从大气预抽至分子泵启动压力，隔离大气、水汽与微粒，保护高真空工艺腔体，广泛用于半导体检测设备、研发实验腔体。

玉崎配套价值阐述

半导体小型真空腔体、检测设备对真空洁净度、泵体体积、功耗要求严苛，一旦出现返油污染，会直接造成晶圆、样品报废。EV-PA500 轻量化风冷干泵，是小型洁净真kong前级泵优选方案，可替代传统涡旋泵、油泵。玉崎半导体作为荏原华南一级代理商，实现 EV-PA500 整机与消耗备件现货一体化供应，缩短交付周期；同时提供真空系统选型、管路配套、安装指导、故障诊断等真空技术支持。可配套半导体设备整机厂、晶圆厂、研发实验室，用于小型 Load-Lock、检测平台、等离子清洗等真空单元，为半导体洁净粗抽真空场景提供轻量化、低维护的干式真空解决方案。