简要描述：EBARA荏原 EV-PA250小型风冷无油干式真空泵
EV-PA250 是日本 EBARA 荏原 EV-PA 系列轻量化小型风冷无油干式罗茨真空泵，玉崎半导体深圳仓常备原装现货，日本原厂整机进口，出厂检测报告、技术资料齐全可溯源，原厂品质保障。

EBARA荏原 EV-PA250小型风冷无油干式真空泵玉崎 现货说明

EV-PA250 是日本 EBARA 荏原 EV-PA 系列轻量化小型风冷无油干式罗茨真空泵，玉崎半导体深圳仓常备原装现货，日本原厂整机进口，出厂检测报告、技术资料齐全可溯源，原厂品质保障。EV-PA250 为 EV-PA 系列小流量版本，定位小型真空腔体粗抽、分子泵前级泵，适配半导体小型 Load-Lock、氦检检漏设备、RGA 残气分析仪、扫描电镜、实验室研发腔体；整机、进气过滤器等消耗备件均可配套供货。无需漫长海外订货周期，快速响应半导体设备整机厂、研发实验室、晶圆厂新机配套与维保需求。玉崎可提供选型评估、工况匹配、管路配套、故障排查、备件更换一站式真空技术服务。

EBARA荏原 EV-PA250小型风冷无油干式真空泵 产品特征

1. 无油无齿轮非接触转子结构，杜绝返油污染。泵体内部无齿轮箱、无润滑油，转子之间、转子与泵腔无物理接触，无碳氢油返流风险，满足半导体高洁净真空要求；非接触密封设计，密封件无需定期更换，长周期免大修。

2. 风冷设计，无需外接冷却水，仅需接入电源即可运行，消除水冷漏水隐患，台式集成、洁净车间、实验室部署简单；运行噪音≤58dB (A)，振动低，适合安静洁净环境。

3. 核心性能参数：标称抽速 230L/min，气镇开启状态 200L/min；极限真空 0.5Pa（气镇关闭），气镇开启 2.0Pa；内置气镇阀，可处理少量水汽，避免水汽冷凝在泵腔；单相 AC100~230V 宽电压供电，50/60Hz 通用；极限真空运行功率仅 0.24kW，节能低功耗；进出气口 NW25 法兰；整机尺寸 189×482×253mm，重量仅 16kg，轻巧便携，自带把手，可台式摆放或随设备集成。

4. 丰富通讯与安全保护，本地面板显示，支持 RS485 通讯、远程 I/O 启停、故障报警输出，可对接 PLC 上位机；内置过热、过载保护；满足 SEMI-S2、CE、NRTL 半导体行业安全规范。

5. 维护成本低，常规维护仅需定期更换进气过滤器；转子无接触磨损，支持 24 小时连续长期运行，大幅降低产线停机维护成本。

备注：EV-PA250 适合洁净、轻度水汽工况，不适合强腐蚀工艺尾气；强腐蚀场景可配套氮气吹扫选配组件。同系列大流量版本为 EV-PA500。

工作原理

EV-PA250 采用无齿轮多级非接触罗茨干式真空原理。电机驱动成对罗茨转子反向高速旋转，转子之间、转子与泵腔壁面保持微小间隙，无接触、无需泵腔润滑油。转子旋转持续将腔体内气体从进气侧逐级输送压缩，从排气口排出，快速将腔体从大气预抽至分子泵启动压力。内置气镇阀可导入干燥气体，降低水蒸气在泵腔内部冷凝析出，实现带少量水汽工况稳定抽气。半导体场景多用于小型 Load-Lock 腔体、氦质谱检漏仪、RGA 残气分析、SEM 电子显微镜、研发实验腔体，作为分子泵前级粗抽泵，隔离大气、水汽与微粒，保护后端高真空腔体，防止样品 / 晶圆污染。

玉崎配套价值

半导体小型真空检测设备、研发腔体对泵体体积、洁净度、功耗要求严苛，一旦发生返油污染，直接造成样品报废、设备腔体污染。EV-PA250 作为小流量轻量化干泵，是替代传统涡旋泵、油泵的优选小型洁净前级泵。玉崎半导体作为荏原华南一级代理商，实现 EV-PA250 整机与消耗备件现货一体化供应，缩短交付周期；同时提供真空系统选型、管路配套、安装指导、故障诊断等真空技术支持。可配套半导体设备整机厂、晶圆厂、研发实验室，用于小型 Load-Lock、氦检、表面分析设备真空单元，为半导体轻量化洁净粗抽真空场景提供高可靠干式真空解决方案。