简要描述：日本 PILLAR皮拉PC-10MBT 泥浆浆料波纹管泵
由于所有接触介质的部件均采用氟树脂制成，因此该泵具有优异的耐化学腐蚀性、耐热性和洁净度。
它专为CMP工艺浆料应用而设计

日本 PILLAR皮拉PC-10MBT 泥浆浆料波纹管泵 产品特征

1. 全氟树脂接液材质：所有接触浆料的部件采用 PFA、PTFE，强耐酸碱、耐研磨浆料腐蚀，高纯无污染，不会析出颗粒，满足半导体 CMP 洁净制程要求。

2. 垂直波纹管特殊流道设计：波纹管垂直布置，浆料不易沉积、滞留，可输送高沉降速度的金属基浆料（铜浆）、二氧化硅、氧化铝、铈系抛光浆料，解决普通泵浆料沉淀堵泵难题PILLAR Sea...。

3. 气动波纹管驱动，无轴封无泄漏：无旋转轴密封结构，che底杜绝浆料外漏、空气渗入，适合 CMP 研磨液循环输送。

4. 低脉动输送：搭配配套 PA-C 蓄能器后，流量脉动可控制在 ±12.5% 以内，保证 CMP 抛光压力稳定，提升晶圆良率PILLAR Sea...。

5. 宽温域适用：适用液体温度 10～100℃，供气压力 0.2~0.5MPaG。

6. 可选位置传感器（MBT 型号）：可监测波纹管动作状态，输出信号给 PLC，实现异常报警、设备联锁，便于机台自动化管控。

7. 结构紧凑，维护简单：无叶轮、无转子，易拆解，更换波纹管耗材方便，适合半导体设备机柜内置安装。

日本 PILLAR皮拉PC-10MBT 泥浆浆料波纹管泵工作原理

PC 系列属于气动波纹管泵（风囊泵），依靠压缩空气驱动波纹管往复伸缩实现流体输送。

1. 压缩空气进入泵的驱动腔，推动氟树脂波纹管向下压缩，泵腔内部容积变小，腔内浆料受压，推开出口单向阀向外排出；

2. 换向阀切换气路，波纹管回弹复位，泵腔容积增大，产生负压，入口单向阀打开，浆料吸入泵腔；

3. 持续往复动作，实现浆料连续输送；垂直波纹管结构，浆料不会沉积在波纹管褶皱位置；

4. 选配 PA-C 蓄能器可缓冲流体脉动，让输出流量更平稳；MBT 版本内置接近传感器，实时检测波纹管行程，反馈动作状态给上位机。

适用流体：CMP 二氧化硅浆料、氧化铝浆料、铈抛光液、铜布线金属研磨浆料。

规格参数表

运用场景

1. 半导体 CMP 化学机械抛光（核心场景）CMP 设备浆料循环、浆料供给输送；二氧化硅、氧化铝、铜浆、铈系抛光液的输送、循环管路，防止浆料沉淀，稳定供给抛光台。

2. 半导体湿法设备含颗粒药液供给、含颗粒清洗液循环输送。

3. 其他行业液晶面板抛光浆料输送、精细化工含颗粒浆液输送。

优势：CMP 工艺对浆料颗粒控制要求ji高，PC 泵无颗粒析出，不易堵泵，低脉动，保障晶圆抛光均匀性，减少晶圆划痕缺陷。