简要描述：日本 PILLAR皮拉PW-5MA气动波纹管计量泵
由于所有接触介质的部件均采用氟树脂制成，因此该泵具有优异的耐化学腐蚀性、耐热性和洁净度。其高重复性使其适用于需要精确定量控制的应用。

日本 PILLAR皮拉PW-5MA气动波纹管计量泵

全部型号清单

PW 系列为半导体药液补充专用定量计量波纹管泵，基础主力型号 2 款，可搭配接头后缀衍生定制型号。

• PW-5MA：单次吐出 5ml 基础款

• PW-10MA：单次吐出 10ml 基础款

衍生后缀说明：P + 接头代码，例 PW-5MA-P6、PW-10MA-P1919，代表不同进出口接头规格。选配：内置位置传感器版本，可反馈波纹管行程信号，接入 PLC 实现动作监控与异常报警。

产品特征

1. 全氟树脂接液材质，所有接触药液部件采用 PFA、PTFE，超高耐酸碱、耐强腐蚀，高纯无析出、无金属离子溶出，满足半导体高洁净制程。

2. 无轴封波纹管结构，无旋转轴密封，消除轴封磨损漏液、空气吸入风险，适合微量高精度定量加药。

3. 定量重复精度高，单次冲程出液稳定，适合小流量药液精准补给；冲程速度可调，可按需改变单位时间给药总量。

4. 气动驱动，结构紧凑，仅需压缩空气驱动，无需电机；体积小巧，方便集成在半导体药液供给柜、清洗机台内部。

5. 适用温度范围宽，药液温度 10～100℃，适配大部分湿法化学药液。

6. 维护简单，核心耗材仅波纹管，拆装更换便捷；可配置行程传感器，用于机台联锁报警。
   

日本 PILLAR皮拉PW-5MA气动波纹管计量泵工作原理

PW 系列属于气动波纹管式定量计量泵。

1. 压缩空气进入驱动腔，推动 PFA 波纹管收缩，泵腔容积减小，内部药液受压，推开出口单向阀，输出设定容积药液（单次定量吐出）。

2. 气路换向，波纹管回弹复位，泵腔容积变大，产生负压，入口单向阀打开，吸入药液完成吸液动作。

3. 每一次完整往复冲程输出固定体积液体，通过调节冲程次数（spm），控制单位时间总给药量；传感器版本可检测波纹管动作位置，向 PLC 反馈泵工作状态。

核心优势：依靠波纹管容积实现容积式定量，不受出口压力小幅波动影响，定量稳定性好。

规格参数表

运用场景

1. 半导体湿法设备（核心场景）清洗机、药液供给系统的微量药液补给；各类酸、碱、显影液、蚀刻液、高纯化学试剂定量添加。

2. 面板 / 光电行业LCD、OLED 制程化学品定量补充。

3. 精细化工高腐蚀药液微量定量投加。

工艺价值：半导体湿法工艺对药液浓度管控严格，PW 系列高精度定量，避免药液添加过量或不足，稳定药液浓度，保障晶圆良率。