简要描述：日本 PILLAR皮拉紧凑型气动波纹管泵
由于所有接触介质的部件均采用氟树脂制成，因此该泵具有优异的耐化学腐蚀性、耐热性和洁净度。PE-E系列泵结构紧凑，占地面积小，有助于设备小型化。化学溶液供应和清洗设备的循环管线

日本 PILLAR皮拉紧凑型气动波纹管泵产品特征

1. 全氟树脂接液材质，接液部位采用 PFA+PTFE，超高耐酸碱、耐强腐蚀，高纯低析出，无金属离子溶出，满足半导体高洁净药液输送要求。

2. 超紧凑小型化设计，相比传统 PE 系列体积大幅缩小，节省机柜内部空间，适配半导体清洗设备、药液供给单元的小型化设备集成。

3. 无轴封波纹管结构，无旋转轴密封件，che底消除轴封磨损漏液、空气渗入风险，药液输送稳定，维护成本低。

4. 气动驱动，流量可调，依靠压缩空气驱动，通过调节供气压力即可改变输出流量；无电机，无电火花，适合腐蚀性化学品洁净车间。

5. 宽温域药液适配，适用液温 10～100℃，覆盖大部分湿法清洗药液工况。

6. 可选行程传感器，可实时监测波纹管往复动作状态，输出信号给上位机，实现泵体异常报警、设备联锁保护。

7. 单向阀结构，停泵后防止药液回流，管路保压性能好。

日本 PILLAR皮拉紧凑型气动波纹管泵工作原理

PE-E 属于气动容积式波纹管泵。

1. 压缩空气通入驱动腔，推动 PFA 波纹管压缩，泵腔容积减小，内部药液受压，顶开出口单向阀向外输送药液；

2. 气路电磁阀切换，波纹管依靠自身弹性回弹复位，泵腔容积变大形成负压，入口单向阀打开，吸入药液；

3. 波纹管持续往复伸缩，完成药液连续输送；

4. 传感器选配款可检测波纹管行程位置，实时反馈泵运行状态给 PLC，用于故障监控。

适用介质：各类高纯酸、碱、显影液、蚀刻液、稀释清洗药液；不适合高沉降 CMP 浆料（浆料优先 PC 系列）。

规格参数表

表格

运用场景

1. 半导体湿法设备（核心场景）单片清洗机、槽式清洗机药液循环、药液供给单元、药液输送管路；输送蚀刻液、剥离液、SC1/SC2 清洗液、显影液等高纯腐蚀性药液。

2. 面板光电行业LCD/OLED 湿法制程药液供给、循环输送。

3. 精细化工高纯腐蚀化学品输送、小型化学供给系统。

工艺价值：PE-E 主打洁净药液循环，体积小巧，适合设备小型化设计，低离子析出，避免污染晶圆表面，保障清洗良率。