简要描述：日本进口 PILLAR皮拉PA-100H自动累加器
化学溶液供应和清洗设备的循环管线；与液体接触的部件：PFA、PTFE；

配套皮拉波纹管泵 PE/PK 系列，半导体高纯药液管路脉动吸收装置工作原理

PA 自动累加器是气液平衡式脉动吸收器，核心为内置 PFA/PTFE 波纹管隔膜结构：

1. 上部接入控制压缩空气，下部接药液管路；

2. 泵输出压力发生波动时，波纹管会自动伸缩，供气压力自动追踪泵吐出压力；

3. 压力升高时波纹管压缩储存液体，压力下降时波纹管释放液体，抵消波纹管泵周期性吐出带来的压力脉动；

4. 波纹管开口朝下，停机时流体可顺畅排空，减少药液残留。

日本进口 PILLAR皮拉PA-100H自动累加器产品特点

1. 自动压力补偿：无需人工预调压力，气压跟随泵压力动态变化，抑制脉动；

2. 全氟接液材质：接液部分 PFA、PTFE，高纯无金属析出，耐强酸、强碱、氧化剂；

3. 低残液设计：波纹管朝下，排液顺畅，不易积液、结晶；

4. 洁净半导体等级，无密封圈污染风险；

5. 脉动抑制效果：泵吐出压力≥0.16MPa（PA-100H≥0.2MPa），压力波动控制在 ±12.5% 以内；低压工况可控制在 0.04MPa 以内；

6. 配套原厂 SUPER 300 PILLAR 高纯接头，管路安装便捷。

日本进口 PILLAR皮拉PA-100H自动累加器规格参数汇总表

应用场景

1. 半导体晶圆湿法清洗设备：SC1、SC2、SPM、HF 等化学药液供给循环管路；

2. FPD 面板清洗设备药液输送；

3. CMP 化学研磨浆料输送（选用 PA-C 系列）；

4. 精细化工、锂电高纯药液循环系统；

5. 波纹管泵 PE/PK 配套管路，消除流量脉动，稳定喷嘴喷射压力，保证蚀刻 / 清洗工艺均匀性。