简要描述：ULVAC爱发科 皮拉尼真空测定子 深圳仓现货
品牌：ULVAC 日本爱发科
型号：WP-02（Φ15 接口）
类型：Pirani 皮拉尼真空传感器头（测定子）
现货说明：深圳仓库原装现货，可当天安排发货，适配 GP-1G、GP-1000G、SP1 等 ULVAC 真空计主机，半导体镀膜设备常用消耗件。

ULVAC爱发科 皮拉尼真空测定子 深圳仓现货产品特点

1. 灯丝采用铂 Pt 材质，耐冲击、抗腐蚀，意外通入大气压时灯丝不易熔断，使用寿命优于普通钨丝规管

2. 小巧圆柱结构，Φ15mm 标准安装接口，相比 WP-01（Φ18）接口更小，适配腔体小口径安装位，拆装替换便捷

3. 低真空段测量稳定，响应速度快，重复性好，适合真空工艺监测、机台自动压力控制

4. 通用兼容 ULVAC GP 系列、SP1 一体式真空计，半导体溅射、真空镀膜、真空炉通用

5. 内部容积小，对腔体整体压力影响更低，适合小腔体、管路狭小空间安装

6. 工业连续生产工况，抗环境温度波动，可做 JCSS 校准

ULVAC爱发科 皮拉尼真空测定子 深圳仓现货 工作原理（皮拉尼热传导式）

恒温型皮拉尼原理，内部铂金属灯丝通电恒温加热；真空腔体内气体分子数量随压力变化，气体带走灯丝热量发生改变，灯丝温度变化引起电阻值变化。电路采集灯丝电阻信号换算输出真空压力。压力越高，气体导热越强，灯丝温度越低；真空越高，导热越弱，灯丝温度越高。

核心技术参数

 应用场景

半导体晶圆设备、真空溅射、光学镀膜、真空热处理炉、真空干燥、真空泵机组、科研实验小腔体压力监测；腔体接口为 Φ15 的设备优先选用 WP-02。

WP-01（Φ18） vs WP-02（Φ15）：仅安装接口尺寸不同，测量范围、原理一致，根据腔体接口选型