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| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
灯丝采用铂 Pt（白金）材质，耐腐蚀性强，意外冲入大气压时灯丝不易熔断，使用寿命优于普通钨丝规管
R3/8 英制外螺纹接口，区别于 WP-01 (Φ18)、WP-02 (Φ15) 的光面插管式，适合腔体带螺纹孔的设备安装
恒温皮拉尼结构，内置温度补偿电路，降低环境温度波动对读数的干扰，工艺压力监测稳定
更换探头电缆无需重新校准，现场维护简单；支持 JCSS 校准证书申请
响应速度快，重复性好，可配合真空计做压力联锁、工艺顺序控制
全系列通用 GP 系列控制器，半导体镀膜、真空炉、真空泵机组通用消耗件
恒温型皮拉尼原理，内部铂金属灯丝通电恒温加热；真空腔体内气体分子数量随压力变化，气体带走灯丝热量发生改变，灯丝温度变化引起电阻值变化。电路采集灯丝电阻信号换算输出真空压力。压力越高，气体导热越强，灯丝温度越低；真空越高，导热越弱，灯丝温度越高。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | WP-03（R3/8） |
| 测量原理 | Pirani 皮拉尼热传导真空计 |
| 测量压力范围 | 0.4 Pa ~ 2700 Pa（3×10⁻³ Torr ~ 20 Torr / 4×10⁻³ ~ 2.7 mbar） |
| 精度分段 | ±15%（51~760Pa）±30%（10~1000Pa）±50%（0.4~2700Pa） |
| 安装接口 | R3/8 英制外螺纹 |
| 适配主机 | GP-1G、GP-1000G、GP-2001G、SP1（G-TRAN 系列） |
| 灯丝材质 | Pt 铂丝 |
| 产地 | 日本 ULVAC 原装 |
半导体晶圆设备、真空溅射、光学镀膜、真空热处理炉、真空干燥、真空泵机组、理化分析仪器；腔体为 R3/8 螺纹安装孔优先选用 WP-03
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